[發明專利]一種金屬網格的光罩拼接方法

有效

• 申請號: 201811227277.2
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN109254692B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 蘇偉;王雷;王海峰;高榮亮;陸永榮
• 申請（專利權）人: 深圳市志凌偉業技術股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;G03F7/20
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 馬金華

1.一種金屬網格的光罩拼接方法，其特征在于：該方法包含以下步驟：

步驟一：拆分金屬網格，生產超過最大光罩尺寸的金屬網格，需要先將產品在合適位置進行拆分，遵循拆分后的各部分產品能夠滿足光罩的最大有效面積；

步驟二：一次規避線路重影及線路變粗，針對各部分產品交界的區域網格線路進行焊接設計，來規避拼接后的線路重影及線路變粗情況；

步驟三：生產時采用二次曝光，先對產品A部分進行曝光，A部分以外采用遮光處理，后對產品B部分進行曝光，B部分以外采用遮光處理，其中金屬網格由產品A部分和產品B部分組成，產品A部分和產品B部分相接處焊接；

步驟四：二次規避線路重影及線路變粗，由于產品A部分和B部分分別有設置重疊搭接區域，此區域設定值在0.5mm-5mm，為避免生產過程中搭接區域比設定值偏高，產品A部分和產品B部分有效區左右分別設有安全區寬度在0.3mm-3mm，避免線路重疊造成外觀重影及線路變粗。

2.根據權利要求1所述的一種金屬網格的光罩拼接方法，其特征在于：步驟一中，所述金屬網格覆蓋在光罩的表面，金屬網格包括產品A部分和產品B部分。

3.根據權利要求1所述的一種金屬網格的光罩拼接方法，其特征在于：步驟一中，所述金屬網格拆分時使用切割裝置進行切割，保證了金屬網格和光罩同時切割時切口的平整性和切除的尺寸精度。

4.根據權利要求1所述的一種金屬網格的光罩拼接方法，其特征在于：步驟二中，各部分產品交界處的金屬網格線之間相互焊接，并使用砂紙打磨，直至焊接處與金屬網格線的線路直徑大小一致。

5.根據權利要求1所述的一種金屬網格的光罩拼接方法，其特征在于：步驟三中，所述遮光處理使用不同規格大小的黑色硬質遮光板，不同大小的黑色硬質遮光板相互拼接在產品A部分以外的部分時對產品B部分進行曝光，不同大小的黑色硬質遮光板相互拼接在產品B部分以外的部分時對產品A部分進行曝光。

6.根據權利要求1所述的一種金屬網格的光罩拼接方法，其特征在于：步驟三中，曝光處理采用曝光機進行對產品A部分和產品B部分進行曝光，曝光機中曝光機燈管直接放置在產品A部分和產品B部分的正上方進行曝光處理。