[發明專利]一種電化學加工工藝

在審

• 申請號: 201811226805.2
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN109112610A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 梁宇
• 申請（專利權）人: 梁宇
• 主分類號: C25F7/00
• 分類號: C25F7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種電化學加工工藝，基于一種電化學加工裝置，該電化學加工裝置包括：腔室；工件；用于夾持工件的夾盤，夾盤呈圓柱型結構，夾盤能夠繞其自身的軸線進行旋轉；電解液供應管道，具有位于腔室內的末端和與末端相對的旋轉端；用于向工件的表面噴射電解液的電解液噴嘴，電解液噴嘴固定安裝于電解液供應管道的末端，電解液噴嘴的噴射方向垂直向下；旋轉擺臂，具有位于腔室內的末端和與末端相對的旋轉端；由導電材料制成的圓形結構的加工盤，活動安裝于旋轉擺臂的末端，加工盤能繞其自身的中心軸旋轉；致動器。該電化學加工工藝，具有操作簡單、便于對電化學加工裝置進行清潔和風干等優點，可以普遍推廣使用。

技術領域

本發明屬于半導體工藝技術領域，涉及一種電化學加工工藝及電化學加工裝置。

背景技術

電化學加工是利用電化學反應對工件進行加工的一種方法。隨著微電子技術的日益發展，電化學加工已廣泛應用于集成電路制造中。在集成電路制造領域，電化學加工包括電鍍和電拋光工藝。

目前，電鍍工藝主要是將工件整片浸入電解液中來實現電鍍；電拋光時，將被拋光的工件與電源的陽極連接，電解液噴嘴與電源的陰極連接，被拋光的工件與電解液噴嘴之間通過電解液形成導通的電流回路。

現有的電化學加工裝置在對工件進行電拋光加工后，夾盤的上表面殘留有電解液，殘留的電解液會對接下來要進行電拋光加工的工件的底面造成污染，會對工件的質量產生不利影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種電化學加工工藝，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種電化學加工工藝，基于一種電化學加工裝置，該電化學加工裝置包括：

腔室；

工件；

用于夾持工件的夾盤，夾盤呈圓柱型結構，夾盤能夠繞其自身的軸線進行旋轉；

電解液供應管道，具有位于腔室內的末端和與末端相對的旋轉端；

用于向工件的表面噴射電解液的電解液噴嘴，電解液噴嘴固定安裝于電解液供應管道的末端，電解液噴嘴的噴射方向垂直向下；

旋轉擺臂，具有位于腔室內的末端和與末端相對的旋轉端；

由導電材料制成的圓形結構的加工盤，活動安裝于旋轉擺臂的末端，加工盤能繞其自身的中心軸旋轉；

致動器，分別與電解液供應管道的旋轉端和旋轉擺臂的旋轉端連接；

電源，電源的一個電極與工件電性連接，電源的另一個電極與電解液噴嘴和加工盤并聯連接，從而構成兩路電流回路；

用于對夾盤進行噴水清洗的清潔噴頭，清潔噴頭位于腔室內，清潔噴頭的噴射方向垂直向下，清潔噴頭與通水管位于腔室內的一端固定連接，通水管的另一端穿過腔室延伸至腔室外，且與水泵的第一管道接頭固定連接，水泵的第二管道接頭固定連接有進水管，進水管的圓周管身固定安裝有水閥；

用于對夾盤進行風干的通氣管，通氣管位于腔室內的一端的吹風方向與夾盤的水平的上表面呈順時針三十度夾角，通氣管的另一端穿過穿過腔室延伸至腔室外，且與加熱箱的上表面的右端固定連接。

優選的，所述加熱箱的內部開設有加熱腔，所述加熱腔的頂壁的右端設置有用于向通氣管的內部管道輸送熱空氣的吹風機，所述吹風機的外殼通過螺栓固定安裝于加熱腔的頂壁。

優選的，所述加熱腔的底面的左端開設有圓形結構的進風口，所述進風口的下方覆蓋有矩形結構的過濾網，過濾網的四角均通過螺栓與加熱箱的下表面固定連接。

優選的，所述加熱腔的頂壁固定安裝有一組第二電加熱板，所述加熱腔的底面固定安裝有一組第一電加熱板，所述第二電加熱板位于第一電加熱板的左側。