[發明專利]一種銅鍍純鎳鍵合絲及其制備方法

在審

• 申請號: 201811225237.4
• 申請日: 2018-10-20
• 公開（公告）號: CN109449133A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 張軍偉;張賀源;馮忠卿
• 申請（專利權）人: 深圳粵通應用材料有限公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/60;C22F1/08;C23C18/32
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1.一種銅鍍純鎳鍵合絲，其特征在于，該鍵合絲為銅絲表面鍍純鎳的復合材料。

2.根據權利要求1所述的銅鍍純鎳鍵合絲，其特征在于，經鍍覆后的所述銅絲表面鍍純鎳鍵合絲的鍍鎳層厚度為0.1μm～0.3μm。

3.根據權利要求1所述的銅鍍純鎳鍵合絲，其特征在于，所述銅絲的純度不低于99.9995%。

4.根據權利要求1所述的銅鍍純鎳鍵合絲，其特征在于，所述純鎳純度至少為99.9990％。

5.根據權利要求1所述的銅鍍純鎳鍵合絲，其特征在于，所述純鎳的純度是將純度為99.0000～99.9900％的鎳塊通過電解提純而獲得的，所述電解提純的電解液為高純水稀釋的硝酸鎳溶液，電流為1.8～4.2A，電壓為5～12V，溫度至高為65℃。

6.一種如權利要求1-2任一所述的銅鍍純鎳鍵合絲的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1預制銅棒胚料：將純度99.9995％以上的銅料，在真空度10^-2-10^-4Mpa的熔爐內高溫融化，保持熔煉溫度為1100℃，精煉時間50分鐘以上，熔煉過程中采用高純度氬氣保護，最后采用凝固方式制備直徑為8-10毫米的銅棒胚料；

S2拉伸銅絲：將上述直徑為8毫米-10毫米的銅棒胚料進行粗拔處理，拉伸后加工成直徑為1毫米的銅絲，進一步拉伸銅絲至直徑為90-100微米；

S3固定退火處理，所述固定退火處理是在氮氣保護氣氛中將預拉伸后的銅絲進行固定退火處理，退火溫度為450～500℃，退火時間為20～30min；

S4清洗：將上述直徑為90-100微米的微細銅絲進行表面清洗；

S5化學鍍鎳：將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鎳液進行化學鍍鎳，鍍鎳液的鎳離子濃度為5-20克每升，鍍鎳條件為鍍鎳液的pH值控制在9.5-10.3，鍍鎳液的溫度控制在40-60攝氏度；

S6再退火：利用無水乙醇還原氧化銅的特性，用氮氣加無水乙醇代替氮氫混合氣進行退火保護；退火溫度為250～500℃；

S7二次清洗：利用無水乙醇在高溫蒸發時爆炸力打掉絲上的臟物；

S8：對清洗后的鍵合絲進行繞線。

7.根據權利要求5所述的銅鍍純鎳鍵合絲的制備方法，其特征在于，所述步驟S4清洗采用超聲波技術，清洗介質采用無水酒精。

8.根據權利要求5所述的銅鍍純鎳鍵合絲的制備方法，其特征在于，所述繞線是將表面清潔處理后的鍵合絲繞制在卷軸上，繞線張力為2～15g，繞線速度為50～80m/min，線間距為4.5～5.5mm，分卷長度為300～1000m/軸。