[發明專利]鍍膜均勻性在線檢測裝置、檢測方法及鍍膜設備

在審

• 申請號: 201811224583.0
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN111074230A
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 黃傳虎;王建新
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 楊潔;周放

本發明公開了一種鍍膜均勻性在線檢測裝置、檢測方法及鍍膜設備，其中該檢測裝置包括載具本體、距離檢測機構和控制裝置，其中，距離檢測機構設置在鍍膜設備上，用于依據預設的檢測周期檢測載具本體在設定方向上的距離值；控制裝置用于根據距離值和預設的檢測周期計算獲得設定方向上的加速度波動值，并根據加速度波動值確定產品在設定方向上的鍍膜均勻性。本發明提供的鍍膜均勻性在線檢測裝置、檢測方法及鍍膜設備，實現了基材在鍍膜過程中對鍍膜均勻性的檢測，從而提高了生產效率，節約了投入成本，同時可以確定在鍍膜過程中，載具本體移動時加速度的變化對鍍膜均勻性造成的影響，從而可以確定造成鍍膜均勻性不良的原因和機理。

技術領域

本發明涉及PVD設備鍍膜技術領域，尤其涉及一種鍍膜均勻性在線檢測裝置、檢測方法及鍍膜設備。

背景技術

物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)是指利用物理過程實現物質轉移，將原子或分子的材料源轉移到基材表面上的過程。其中，立式PVD設備是實現該過程的一種普遍應用的生產設備，為了實現規模效應以降低成本、增加產品的競爭力，越來越多的工廠生產或應用立式PVD設備。

在采用立式PVD設備鍍膜時，基材一般是由載具承載進行移動。鍍膜均勻性與移動速度和加工功率的穩定性有直接關系。但是，通常加工功率由專業設備直接反饋。因此，控制載具移動速度的穩定性是控制鍍膜均勻的關鍵因素。

發明內容

本發明的目的是提供一種鍍膜均勻性在線檢測裝置、檢測方法及鍍膜設備，以解決上述現有技術中的問題，實現基材在鍍膜過程中移動速率波動對鍍膜均勻性造成影響的檢測，提高檢測效率，降低檢測成本，使鍍膜結果更加可控。

本發明提供了一種鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，包括：

載具檢測模塊，所述載具檢測模塊用于依據預設的檢測周期檢測載具與所述載具檢測模塊的距離值；

控制裝置，用于根據所述距離值和所述預設的檢測周期確定所述載具的速度信息，并根據所述速度信息確定設置在載具上的產品的鍍膜均勻性。

如上所述的鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，優選的是，所述載具檢測模塊包括第一載具檢測機構和/或第二載具檢測機構；

所述第一載具檢測機構設置在與載具鍍膜移動方向相對的方向；

所述第二載具檢測機構設置在與載具鍍膜移動方向垂直的方向。

如上所述的鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，優選的是，還包括報警模塊，鍍膜均勻性為不合格時，發出警示信號。

如上所述的鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，優選的是，所述第一載具檢測機構和所述第二載具檢測機構均為激光傳感器。

如上所述的鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，優選的是，還包括激光反射件，所述激光反射件轉動設置在所述載具上，所述激光反射件的轉動中心豎直設置，所述第一載具檢測機構發送的激光信號照射至所述激光反射件。

如上所述的鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，優選的是，所述載具上設置有開口，所述開口在垂直于載具鍍膜移動方向上貫通所述載具，所述激光反射件轉動設置在所述開口中。

如上所述的鍍膜均勻性在線檢測裝置，其中，優選的是，所述激光反射件通過扭簧轉動設置在所述開口中。

本發明還提供了一種鍍膜設備，包括載具，其中，所述鍍膜設備還包括本發明提供的鍍膜均勻性在線檢測裝置，所述載具檢測模塊設置在所述鍍膜設備上。

本發明還提供了一種鍍膜均勻性在線檢測方法，其中，包括：

依據預設的周期獲取載具檢測模塊檢測的所述載具檢測模塊到載具的距離信息；