[發(fā)明專利]使用計算機視覺系統(tǒng)的原位室清潔終點檢測系統(tǒng)和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811223497.8
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN109698144A
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 卡皮爾·索拉尼;蓋瑞·B·利德;邁克爾·丹克;羅納德·鮑威爾;邁克爾·拉莫;卡伊翰·阿什蒂亞尼
• 申請（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 李獻忠;張靜

1.一種系統(tǒng)，其包括：

安裝在處理室的窗外部并鄰近所述窗的相機，所述處理室被配置成處理半導(dǎo)體襯底，所述窗使得所述相機能觀察到所述處理室內(nèi)的部件，所述相機被配置為于在正在所述處理室內(nèi)執(zhí)行的處理期間生成指示所述部件的狀態(tài)的視頻信號；和

控制器，其耦合到所述處理室并被配置成：

控制所述相機；

處理來自所述相機的所述視頻信號；

基于對所述視頻信號的所述處理確定所述部件的狀態(tài)；以及

基于所述部件的所述狀態(tài)確定是否終止所述處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，響應(yīng)于所述處理是被執(zhí)行以去除通過先前執(zhí)行的處理沉積在所述部件上的材料的清潔處理，所述控制器被配置為：

將所述部件的通過所述視頻信號的多個幀觀察到的特征的屬性的變化與預(yù)定閾值進行比較；

基于所述比較確定是否去除了沉積在所述部件上的所述材料；以及

響應(yīng)于確定去除了沉積在所述部件上的所述材料，終止所述清潔處理。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，響應(yīng)于所述處理是被執(zhí)行以去除通過先前執(zhí)行的處理沉積在所述部件上的材料的清潔處理，所述控制器被配置為：

將從所述視頻信號捕獲的圖像與預(yù)定圖像進行比較；

基于所述比較確定是否去除了沉積在所述部件上的所述材料；以及

響應(yīng)于確定去除了沉積在所述部件上的所述材料，終止所述清潔處理。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器配置為：

接收來自所述處理室中的一個或多個傳感器的數(shù)據(jù)；

基于從一個或多個傳感器接收的所述數(shù)據(jù)和從所述相機接收的視頻信號生成模型，所述視頻信號指示先前在所述處理室中執(zhí)行所述處理時所述部件的狀態(tài)；以及

使用該模型以：

處理所述視頻信號；

基于對所述視頻信號的所述處理確定所述部件的狀態(tài)；以及

基于所確定的所述部件的狀態(tài)，確定是否終止所述處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其還包括：

光學(xué)濾波器，其布置在所述相機和所述窗之間，所述光學(xué)濾波器被配置為過濾通過所述窗從所述部件接收的光的一種或多種波長，并將過濾后的信號輸出到所述相機，

其中，所述控制器被配置為基于使用光學(xué)干涉處理所述過濾后的信號來確定所述部件的狀態(tài)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述控制器被配置為在終止所述處理之前確定是否在整個所述部件上執(zhí)行了所述處理。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述控制器被配置為在終止所述處理之前確定是否在整個所述部件上均勻地執(zhí)行了所述處理。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述控制器被配置為確定在所述部件上的不同位置處執(zhí)行所述處理的速率。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述部件包括半導(dǎo)體襯底，并且所述處理包括被執(zhí)行以從所述半導(dǎo)體襯底去除膜的膜去除處理，并且其中所述控制器被配置為確定在終止所述處理之前確定在整個所述部件上的膜是否被去除。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器被配置為使所述相機聚焦在所述部件的邊緣處并且確定在終止所述處理之前是否在所述部件的邊緣處執(zhí)行所述處理。