[發(fā)明專利]一種高頻電源的校正系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811213419.X
• 申請(qǐng)日: 2018-10-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111083867A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱建勛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇綠潔節(jié)能有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種高頻電源的校正系統(tǒng)，包括高頻電源、自動(dòng)校正模塊、高頻功率產(chǎn)生源以及除雜轉(zhuǎn)低模塊，所述高頻電源與所述自動(dòng)校正模塊和所述高頻功率產(chǎn)生源分別連接，所述高頻功率產(chǎn)生源與所述除雜轉(zhuǎn)低模塊連接；本發(fā)明的自動(dòng)校正模塊包括電力輸出控制單元，給自動(dòng)校正模塊輸入由電力值檢測(cè)單元檢測(cè)出的電力檢測(cè)值，根據(jù)電力檢測(cè)值與電力設(shè)定值的差值求取實(shí)際偏移值，然后電力輸出控制單元根據(jù)實(shí)際偏移值和電力設(shè)定值調(diào)整目標(biāo)電力輸出值，使輸入阻抗匹配器的高頻電力的值成為電力設(shè)定值的方式，調(diào)整從高頻電源的電力輸出端子輸出的高頻電力，大幅縮短電源校正所需的時(shí)間，增加校正的準(zhǔn)確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及高頻電源領(lǐng)域，尤其涉及一種高頻電源的校正系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件的制造工藝中，使用在較低壓的氣氛內(nèi)生成高密度的等離子體，并在半導(dǎo)體晶片(以下簡(jiǎn)稱為“晶片”)上進(jìn)行蝕刻處理、成膜處理的等離子處理裝置。例如，平行平板等離子處理裝置在處理室內(nèi)配置有一對(duì)平行平板電極(上部電極和下部電極)，在將處理氣體導(dǎo)入該處理室內(nèi)的同時(shí)，從高頻電源向電極的一方或兩方供給高頻，在電極間生成高頻電場(chǎng)，通過(guò)該高頻電場(chǎng)生成處理氣體的等離子體，從而對(duì)晶片進(jìn)行蝕刻等規(guī)定的處理。

在這種等離子處理裝置中，為了得到良好的處理結(jié)果，有必要在處理中將施加在上述電極上的高頻電力的值維持在規(guī)定的值，使在處理室內(nèi)產(chǎn)生的等離子保持穩(wěn)定。但是，例如在運(yùn)行多個(gè)等離子處理裝置等的情況下，即使安裝于各處理裝置的高頻電源的輸出電力的值恒定，但因?yàn)閺母哳l電源到處理室內(nèi)的電極的高頻電力的傳送路徑所消耗的損失電力在各個(gè)裝置中不同，所以施加于其電極的實(shí)際高頻電力的值并不一定恒定不變。實(shí)際上從高頻電源輸出的高頻電力在到達(dá)處理室內(nèi)的電極的過(guò)程中，其傳送中的高頻電力的衰減特性并不相同

此外，在現(xiàn)有的具備檢波電路的高頻電源中，若作為入射波的等離子體生成用高頻功率與偏壓用高頻功率地頻率差變大，則反射波中包含的高頻率成分的頻率與調(diào)制波成分等的頻率差會(huì)變小，不能由LC電路構(gòu)成的帶通濾波器充分衰減調(diào)制波成分等，結(jié)果，有可能會(huì)將調(diào)制波成分等視為反射波，高頻電源引起誤操作。

另外，若不能充分衰減調(diào)制波成分等，則難以在等離子體生成時(shí)施加適當(dāng)?shù)母哳l功率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種高頻電源的校正系統(tǒng)，該系統(tǒng)可彌補(bǔ)現(xiàn)有的高頻電源校正方式或系統(tǒng)的不足。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的目的在于提供一種高頻電源的校正系統(tǒng)，包括高頻電源、自動(dòng)校正模塊、高頻功率產(chǎn)生源以及除雜轉(zhuǎn)低模塊，所述高頻電源與所述自動(dòng)校正模塊和所述高頻功率產(chǎn)生源分別連接，所述高頻功率產(chǎn)生源與所述除雜轉(zhuǎn)低模塊連接；所述高頻電源、所述自動(dòng)校正模塊、所述高頻功率產(chǎn)生源以及所述除雜轉(zhuǎn)低模塊均與等離子處理機(jī)連接。

作為優(yōu)化，所述高頻電源包括：數(shù)據(jù)輸入端、電力輸出端、調(diào)整單元以及電力值檢測(cè)單元，其中，

所述數(shù)據(jù)輸入端負(fù)責(zé)將高頻電力的電力設(shè)定值和用于校正輸出電力的偏移值作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)輸入；

所述電力輸出端負(fù)責(zé)輸出所述高頻電力；

所述調(diào)整單元根據(jù)所述電力設(shè)定值與所述偏移值調(diào)整目標(biāo)電力輸出值后，從所述電力輸出端輸出與所述目標(biāo)電力輸出值相應(yīng)的高頻電力；

所述電力值檢測(cè)單元安裝于同軸電纜與阻抗匹配器的連接位置，所述電力值檢測(cè)單元對(duì)輸入所述阻抗匹配器的高頻電力的值進(jìn)行檢測(cè)。

作為優(yōu)化，所述自動(dòng)校正模塊還包括電力輸出控制單元，給所述自動(dòng)校正模塊輸入由所述電力值檢測(cè)單元檢測(cè)出的電力檢測(cè)值，所述自動(dòng)校正模塊根據(jù)所述電力檢測(cè)值與所述電力設(shè)定值的差值求取實(shí)際偏移值，然后所述電力輸出控制單元根據(jù)所述實(shí)際偏移值和所述電力設(shè)定值調(diào)整目標(biāo)電力輸出值，由此，以使輸入所述阻抗匹配器的高頻電力的值成為所述電力設(shè)定值的方式，調(diào)整從所述高頻電源的電力輸出端子輸出的高頻電力。