[發(fā)明專利]彈性波裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811213199.0
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN109698681B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大門克也
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/145
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

本發(fā)明提供一種使用層疊型基板且傳播損耗小的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備：層疊型基板(2)，具有壓電膜(5)、低聲速材料層(4)、以及高聲速材料層(3)，層疊型基板(2)的倒速度面為凸；以及IDT電極(6)，設(shè)置在壓電膜(5)上，在IDT電極(6)中，第一電極指(13)的前端與第二匯流條(12)之間的第一間隙以及第二電極指(14)的前端與第一匯流條(11)之間的第二間隙的間隙長度為0.23λ以下，該間隙長度是第一間隙以及第二間隙沿著第一電極指(13)以及第二電極指(14)延伸的方向的尺寸。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有層疊了高聲速材料層、低聲速材料層以及壓電膜的層疊型基板的彈性波裝置。

背景技術(shù)

彈性波裝置的IDT電極具有相互對置的第一匯流條和第二匯流條、多根第一電極指、以及多根第二電極指。多根第一電極指的一端與第一匯流條連接。多根第二電極指的一端與第二匯流條連接。第一電極指的前端與第二匯流條隔開間隙配置。此外，第二電極指的前端與第一匯流條隔開間隙配置。在下述的專利文獻(xiàn)1中，示出了如下要點(diǎn)，即，若上述間隙的長度為1λ以上，則產(chǎn)生優(yōu)選的波導(dǎo)，若比3λ長，則更加優(yōu)選。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-101350號公報(bào)

如專利文獻(xiàn)1所示，以往認(rèn)為，優(yōu)選電極指前端與匯流條之間的間隙的長度長。

然而，本申請的發(fā)明人新發(fā)現(xiàn)：在壓電基板為層疊型基板的彈性波裝置中，若增大間隙，則傳播損耗變大。特別是，在層疊有高聲速材料層、低聲速材料層以及壓電膜的層疊型基板的情況下，傳播損耗容易變大。另外，所謂高聲速材料，是所傳播的體波(bulk?wave)的聲速與在壓電膜傳播的彈性波的傳播速度相比為高速的材料。所謂低聲速材料，是所傳播的體波的聲速比在壓電膜傳播的體波的聲速低的材料。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明的目的在于，解決上述的由本申請的發(fā)明人新發(fā)現(xiàn)的課題。即，本發(fā)明的目的在于，提供一種具有層疊型基板且傳播損耗小的彈性波裝置。

用于解決課題的技術(shù)方案

本發(fā)明涉及的彈性波裝置具備：層疊型基板，具有壓電膜、傳播與在所述壓電膜傳播的體波的聲速相比為低速的體波的低聲速材料層、以及傳播與在所述壓電膜傳播的彈性波的聲速相比為高速的體波的高聲速材料層，在所述高聲速材料層與所述壓電膜之間配置有所述低聲速材料層，所述層疊型基板的倒速度面為凸；以及IDT電極，設(shè)置在所述壓電膜上，所述IDT電極具有相互對置的第一匯流條以及第二匯流條、從所述第一匯流條向所述第二匯流條側(cè)延伸的多根第一電極指、以及從所述第二匯流條朝向所述第一匯流條延伸的多根第二電極指，所述第一電極指的前端與所述第二匯流條之間的第一間隙以及所述第二電極指的前端與所述第一匯流條之間的第二間隙的間隙長度為0.23λ以下，該間隙長度是所述第一間隙以及所述第二間隙沿著所述第一電極指以及所述第二電極指延伸的方向的尺寸。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的某個(gè)特定的方面中，在所述IDT電極中，所述第一電極指和所述第二電極指在彈性波傳播方向上相互重疊的交叉區(qū)域具有：所述第一電極指以及所述第二電極指延伸的方向上的中央處的中央?yún)^(qū)域；以及配置在所述中央?yún)^(qū)域的所述第一電極指以及所述第二電極指延伸的方向上的兩外側(cè)的第一邊緣區(qū)域以及第二邊緣區(qū)域，所述第一邊緣區(qū)域以及所述第二邊緣區(qū)域的聲速比所述中央?yún)^(qū)域的聲速低。在該情況下，能夠減小橫模脈動(dòng)。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個(gè)特定的方面中，在所述第一邊緣區(qū)域以及所述第二邊緣區(qū)域中，所述第一電極指以及所述第二電極指的寬度比所述中央?yún)^(qū)域中的所述第一電極指以及所述第二電極指的寬度寬，所述寬度是所述第一電極指以及所述第二電極指沿著彈性波傳播方向的尺寸。