[發明專利]銅互連功能微結構及其制備方法

有效

• 申請號: 201811210694.6
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN109473418B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 王聰;滿姝;郭登機;丁鎧文;段吉安
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: H01L23/52
• 分類號: H01L23/52;H01L21/304
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 黃藝平

1.一種銅互連功能微結構的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將重復頻率為75KHz、功率為6～7W的超快激光入射在銅片表面，控制超快激光光束在銅片表面進行網狀掃描，形成周期性錐形微結構；

所述超快激光的掃描速度為18～22mm/s；

所述超快激光的掃描間隔為65～75μm；

(2)取兩塊經步驟(1)處理后的銅片進行清洗，在其錐形微結構表面涂覆一層納米銀漿；

(3)將兩塊涂覆有納米銀漿的銅片相扣，在150～180℃下施加5～6Mpa的壓力后升溫至340～360℃，保溫保壓50～70min，得到銅互連功能微結構；

其中，升溫速度為8～12℃/min；

所述銅互連功能微結構包括上銅片和下銅片，以及涂覆在上銅片和下銅片之間的納米銀漿；所述上銅片的尺寸小于所述下銅片的尺寸；

其中，上銅片與下銅片相交的兩個表面上分布有均勻的周期性錐形結構；所述周期性錐形結構的錐體高度為52～58μm；相鄰錐體間的中心距為55～60μm；

所述納米銀漿的組成為納米銀粉、聚乙二醇600、丙三醇和乙二醇丁醚醋酸酯。

2.如權利要求1所述制備方法，其特征在于，步驟(1)中所述銅片在超快激光入射前先進行拋光處理與超聲波清洗。

3.如權利要求1所述制備方法，其特征在于，步驟(1)中超快激光先經反射鏡與光闌垂直入射至激光振鏡中，再經聚焦后入射在銅片表面。

4.如權利要求1所述制備方法，其特征在于，步驟(2)所述清洗具體為超聲波清洗2～5min。