[發明專利]一種分子電子型角加速度計溫度補償器制作方法

在審

• 申請號: 201811209057.7
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN111056736A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 鄭辛;孫榮凱;秦杰;牛光星
• 申請（專利權）人: 北京自動化控制設備研究所
• 主分類號: C03B23/07
• 分類號: C03B23/07;C03B25/00;G01P15/08
• 代理公司: 核工業專利中心 11007
• 代理人: 孫成林

本發明公開了一種分子電子型角加速度計溫度補償器制作方法，它能夠滿足分子電子型角加速度計工程產品在實際使用中，適應外界環境溫度變化時產品工作可靠性和長期使用穩定性的需求。包括如下步驟：步驟1：玻璃直管位置固定；步驟2：溫度補償器高溫成型；步驟3：高溫成型后退火。其優點在于：分子電子型角加速度計溫度補償器是一個專用的玻璃球泡，該球泡與敏感組件相連接，當外界溫度發生改變時，敏感組件中的工作液體就會隨著溫度發生熱脹冷縮，在敏感組件和玻璃球泡內進行往返流動，使敏感組件內腔體壓力保持穩定。保證了分子電子型角加速度計工程產品在實際使用中，適應外界環境溫度變化時產品工作可靠性和長期使用穩定性的需求。

技術領域

本發明屬于一種溫度補償器的制作方法，具體涉及一種分子電子型角加速度計中敏感組件溫度補償器制作方法。

背景技術

分子電子型角加速度計是用來測量載體相對于其所對應軸線的角加速度信號，其工作原理是利用其敏感組件內的工作液體的流動導致“轉換器件——液體”界面處電荷的轉移而形成電勢差。通過電極測量轉換器件兩端的電勢差，直接得到與外界角加速度信號相對應的電信號，并通過轉換器電極將電信號積累、輸出。

分子電子型角加速度計的工作液體是灌封在封閉的敏感組件腔體內的，隨著外界環境溫度的變化，液體隨之熱脹冷縮，使敏感組件腔體內的壓力發生變化，影響到產品的穩定工作和長期可靠性，因此需在敏感組件中增加溫度補償器。溫度補償器是傳感器結構上的部件之一，為特種玻璃材料，由Na、Ca、K等各種堿性物質和SiO₂形成。其制作牢固情況也直接影響角加速度計產品在實際工程應用中的可靠性。

發明內容

本發明的目的在于提供一種分子電子型角加速度計溫度補償器制作方法，它能夠滿足分子電子型角加速度計工程產品在實際使用中，適應外界環境溫度變化時產品工作可靠性和長期使用穩定性的需求。

本發明的技術方案如下：一種分子電子型角加速度計溫度補償器制作方法，包括如下步驟：

步驟1：玻璃直管位置固定；

步驟2：溫度補償器高溫成型；

步驟3：高溫成型后退火。

所述的步驟1為將直徑為8～12mm的玻璃材質直管，固定在可旋轉工裝夾具之間，并通過夾具將玻璃直管夾緊，保證玻璃直管在旋轉過程中不會脫落下來。

所述的步驟1中夾緊力矩至少為2N.m。

所述的步驟2為用玻璃燒結燈槍對已經固定在工裝夾具之間的玻璃直管中心位置進行自然火焰外焰處預熱5分鐘，之后啟動可旋轉工裝夾具，進行旋轉，將玻璃燒結燈槍溫度調至900～1000℃，對剛才已經預熱的位置進行高溫加熱，當直管玻璃開始熔化時，在玻璃直管中通入空氣，使玻璃直管熔化部分吹起，形成球形玻璃球泡，當玻璃球泡直徑達到13～17mm時，停止通入空氣。

所述的步驟3為將已經高溫成型的溫度補償器玻璃球泡進行退火，退火過程中溫度自然冷卻，退火溫度500～600℃，時間24小時以上。

本發明的有益效果在于：分子電子型角加速度計溫度補償器是一個專用的玻璃球泡，該球泡與敏感組件相連接，當外界溫度發生改變時，敏感組件中的工作液體就會隨著溫度發生熱脹冷縮，在敏感組件和玻璃球泡內進行往返流動，使敏感組件內腔體壓力保持穩定。保證了分子電子型角加速度計工程產品在實際使用中，適應外界環境溫度變化時產品工作可靠性和長期使用穩定性的需求。

附圖說明

圖1是一種分子電子型角加速度計及溫度補償器示意圖。

圖中，1溫度補償器，2內部灌注的工作液體，3環形腔，4轉換器，5電極。

具體實施方式

下面結合附圖及具體實施例對本發明作進一步詳細說明。