[發明專利]一種用于晶圓流片制造的切段裝置

在審

• 申請號: 201811208663.7
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN109304818A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種用于晶圓流片制造的切段裝置，包括工作臺、四組支腿（1）、切割刀（2）和兩組刀柄（3），兩組刀柄（3）分別安裝在切割刀（2）前端和后端；其特征在于，還包括左弧形連接板（4）、右弧形連接板、四組限位螺紋桿（5）、支撐板（6）和四組固定螺母（7），所述工作臺包括上平臺（8）和下平臺，所述左弧形連接板（4）和右弧形連接板兩端分別與上平臺（8）和下平臺左端和右端連接，所述四組支腿（1）頂端分別與下平臺底部左前側、左后側、右前側和右后側連接，所述四組限位螺紋桿（5）頂端分別與下平臺底部左前側、左后側、右前側和右后側連接，所述支撐板（6）左前側、左后側、右前側和右后側分別設置有四組通孔，所述四組限位螺紋桿（5）底端分別穿過四組通孔，所述四組固定螺母（7）分別螺裝至四組限位螺紋桿（5）上，所述上平臺（8）和下平臺上分別設置有多組上穿孔和多組下穿孔，還包括壓板（9）、四組固定彈簧（10）和緩沖墊（11），所述四組固定彈簧（10）頂端和底端分別與壓板（9）底部和上平臺（8）頂部左前側、左后側、右前側和右后側連接，所述緩沖墊（11）安裝在壓板（9）底部；還包括前調節螺紋桿（12）、后調節螺紋桿、兩組前齒輪（13）、兩組后齒輪、兩組傳動齒輪（14）、兩組固定桿（15）和兩組固定球（16），所述左弧形連接板（4）和右弧形連接板前半區域和后半區域分別設置有兩組左連接孔和兩組右連接孔，所述前調節螺紋桿（12）和后調節螺紋桿左端和右端分別穿過兩組左連接孔和兩組右連接孔，所述兩組前齒輪（13）和兩組后齒輪分別安裝在前調節螺紋桿（12）和后調節螺紋桿左端和右端，所述左弧形連接板（4）和右弧形連接板中央區域分別設置有兩組固定孔，所述兩組固定桿（15）一端分別與兩組傳動齒輪（14）中央區域連接，并且兩組固定桿（15）另一端分別穿過兩組固定孔并與兩組固定球（16）連接，所述兩組傳動齒輪（14）分別與兩組前齒輪（13）和兩組后齒輪嚙合，所述兩組前齒輪（13）和兩組后齒輪上分別設置有兩組前旋轉把手（17）和兩組后旋轉把手，所述兩組刀柄（3）上分別設置有兩組移動環（18），所述兩組移動環（18）上分別設置有與前調節螺紋桿（12）和后調節螺紋桿相對應的內螺紋，所述前調節螺紋桿（12）和后調節螺紋桿分別螺裝通過兩組移動環（18），所述切割刀（2）位于上平臺（8）和下平臺之間。

2.如權利要求1所述的一種用于晶圓流片制造的切段裝置，其特征在于，還包括兩組左拉繩、兩組右拉繩（19）、兩組固定板（20）和卷軸（21），所述壓板（9）左半區域和右半區域分別設置有兩組左抽拉孔和兩組右抽拉孔，所述兩組左拉繩和兩組右拉繩（19）一端分別穿過兩組左抽拉孔和兩組右抽拉孔并與上臺面頂部連接，所述兩組固定板（20）分別安裝在壓板（9）頂部前半區域和后半區域，并在兩組固定板（20）上分別設置有兩組圓孔，所述卷軸（21）前端和后端分別穿過兩組圓孔，并在卷軸（21）前端和后端分別設置有兩組旋轉板（31），所述兩組旋轉板（31）底部分別設置有兩組轉動把手（22），所述兩組左拉繩和兩組右拉繩（19）另一端均纏繞固定在卷軸（21）上。

3.如權利要求2所述的一種用于晶圓流片制造的切段裝置，其特征在于，還包括多組第一滾珠（23），所述兩組左連接孔、兩組右連接孔和兩組固定孔內側壁上分別設置有多組第一弧形槽，所述多組第一滾珠（23）分別位于多組第一弧形槽內，并且多組第一滾珠（23）分別與前調節螺紋桿（12）、后調節螺紋桿和兩組固定桿（15）外壁接觸。

4.如權利要求3所述的一種用于晶圓流片制造的切段裝置，其特征在于，還包括連接齒輪（24）、連接軸（25）和擋塊（26），所述支撐板（6）中央區域設置有連接孔，所述連接軸（25）頂端穿過連接孔并與擋塊（26）底部中央區域連接，所述連接齒輪（24）安裝在連接軸（25）底端，所述四組固定螺母（7）外壁上均設置有與連接齒輪（24）相對應的齒紋，并且四組固定螺母（7）均與連接齒輪（24）嚙合。

5.如權利要求4所述的一種用于晶圓流片制造的切段裝置，其特征在于，還包括多組第二滾珠（27），所述擋塊（26）底部和連接孔處內側壁上分別設置有多組第二弧形槽，所述多組第二滾珠（27）分別位于多組第二弧形槽內，并且多組第二滾珠（27）分別與支撐板（6）頂部和連接軸（25）外壁接觸。