[發明專利]基于柔性襯底的柔性施密特電路

在審

• 申請號: 201811203756.0
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN109560084A
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 秦國軒;趙政;張一波
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 劉國威

1.一種基于柔性襯底的柔性施密特電路，其特征是，在聚對苯二甲酸乙二醇PET塑料上表面有一層基于環氧SU8樹脂的光刻膠材料層，作為PET基板與邏輯門電路之間的粘合層，邏輯門電路的主體部分包括2個柔性薄膜晶體管和4個柔性電阻，一個柔性薄膜晶體管制作在N型Si薄膜上，由：兩個P摻雜區和柵氧層組成，另外一個柔性薄膜晶體管制作在P型Si薄膜上，由：兩個N摻雜區和柵氧層組成，柔性電阻通過對硅薄膜摻雜制作而成，其中器件的連接方式為：使用N型硅薄膜制作的薄膜晶體管，其源端連接電源端，漏端通過一個柔性電阻接地，柵端通過一個柔性電阻接輸入信號；使用P型硅薄膜制作的薄膜晶體管，其源端直接連接信號輸出端，并通過一個柔性電阻同電源端相連，漏端直接接地，柵端通過一個柔性電阻同基于N型硅薄膜薄膜晶體管的漏端連接。

2.如權利要求1所述的基于柔性襯底的柔性施密特電路，其特征是，PET塑料采用不銹鋼襯底，超薄玻璃襯底，紙質襯底中的一種替換，成為具備可彎曲折疊特性的柔性襯底。