[發明專利]石墨烯保護膜的制備方法、石墨烯保護膜及其使用方法

有效

• 申請號: 201811203418.7
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN109321893B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 張瑩瑩;夏凱倫
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/01
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 陳超

1.一種石墨烯保護膜的制備方法，其特征在于，包括：

S110，采用化學氣相沉積法在金屬基底表面制備石墨烯膜；

S120，將轉移輔助貼膜覆蓋在金屬基底上的石墨烯膜表面；

S130，將帶有轉移輔助貼膜的石墨烯膜置于金屬刻蝕劑中，刻蝕去除所述金屬基底；

S140，用去離子水清洗去除殘留的金屬刻蝕劑，得到石墨烯保護膜；

其中，所述轉移輔助貼膜的制備過程包括：

S210，在光滑平整的基底表面涂覆一層輔助聚合物層；

S220，在聚合物層表面覆蓋一層熱解離膠帶層；

S230，排除輔助聚合物層和熱解離膠帶層之間的氣泡使輔助聚合物層和熱解離膠帶層緊密貼合；

S240，從所述光滑平整的基底表面揭除所述輔助聚合物層和熱解離膠帶層，得到所述轉移輔助貼膜。

2.根據權利要求1所述的石墨烯保護膜的制備方法，其特征在于，所述輔助聚合物層為聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、松香或石蠟，其能溶于有機溶劑，所形成的溶液在有機溶劑揮發后可重新形成為固體。

3.根據權利要求1所述的石墨烯保護膜的制備方法，其特征在于，還包括排除石墨烯膜和轉移輔助貼膜之間的氣泡，使石墨烯膜和轉移輔助貼膜緊密貼合的步驟。

4.一種根據權利要求1所述的石墨烯保護膜的制備方法制備的石墨烯保護膜，其特征在于，包括：轉移輔助貼膜層和石墨烯膜層；

所述轉移輔助貼膜層包括輔助聚合物層和熱解離膠帶層，所述輔助聚合物層與所述石墨烯膜層相鄰。

5.根據權利要求4所述的石墨烯保護膜，其特征在于，所述輔助聚合物層為聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、松香或石蠟，其能溶于有機溶劑，并在有機溶劑揮發后重新形成為固體。

6.一種根據權利要求4-5任一項所述的石墨烯保護膜的使用方法，其特征在于，包括：

S410，將所述石墨烯保護膜覆蓋在需要保護的樣品表面；

S420，排除石墨烯保護膜和樣品表面之間的氣泡，使石墨烯保護膜和樣品表面緊密貼合；

S430，加熱所述石墨烯保護膜，使溫度超過所述轉移輔助貼膜中的熱解離膠帶層的粘性失效溫度；

S440，揭除所述熱解離膠帶層；

S450，使用有機溶劑去除所述轉移輔助貼膜中的輔助聚合物層，使所述樣品表面僅覆蓋石墨烯膜層。

7.根據權利要求6所述的石墨烯保護膜的使用方法，其特征在于，還包括從所述已覆蓋石墨烯保護層的樣品表面揭除所述石墨烯膜層的步驟：

S510，將轉移輔助貼膜覆蓋粘貼于所述石墨烯膜層上；

S520，排除轉移輔助貼膜和樣品表面的石墨烯膜層之間的氣泡，使轉移輔助貼膜和樣品表面的石墨烯膜層緊密貼合；

S530，物理揭除所述轉移輔助貼膜和石墨烯膜層。

8.根據權利要求7所述的石墨烯保護膜的使用方法，其特征在于，所述石墨烯保護膜可以反復多次粘貼和/或揭除于所述樣品表面。