[發(fā)明專利]用來控制系統(tǒng)內(nèi)的過程的方法和裝置，特別是研磨裝置內(nèi)的研磨過程

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811202741.2
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN109696829B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發(fā)明（設計）人: 馬丁·翁
• 申請（專利權(quán)）人: AIX制程有限公司
• 主分類號: G05B13/04
• 分類號: G05B13/04
• 代理公司: 北京京萬通知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11440
• 代理人: 萬學堂

本發(fā)明涉及一種控制系統(tǒng)內(nèi)的過程的方法及其裝置，該方法特別是研磨裝置內(nèi)的研磨過程，包括如下步驟：?檢測1系統(tǒng)的狀態(tài)變量(ssubgt;t/subgt;)；?創(chuàng)建2至少兩個過程模型(PM)，每個模型均描述了執(zhí)行動作(asubgt;t/subgt;)對系統(tǒng)的狀態(tài)變量(ssubgt;t/subgt;)的影響，其中，至少兩個過程模型(PM)的結(jié)構(gòu)彼此不同；?根據(jù)預定控制目標和過程模型，通過完成執(zhí)行動作(asubgt;t/subgt;)來控制3系統(tǒng)內(nèi)的過程，此時，該過程模型對在系統(tǒng)內(nèi)運行的過程的預測結(jié)果最為精確。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用來控制系統(tǒng)內(nèi)的過程的方法，特別是研磨裝置內(nèi)的研磨過程。本發(fā)明還涉及一種用來實施本發(fā)明的方法的裝置。

背景技術(shù)

在控制系統(tǒng)內(nèi)的這種程序中，在這種程序中，優(yōu)選通過測量系統(tǒng)內(nèi)的過程變量(process?variables)來獲取系統(tǒng)的狀態(tài)變量(state?variables)。此外，創(chuàng)建一種過程模型(process?model)，該模型描述了執(zhí)行動作(actuating?actions)對系統(tǒng)的狀態(tài)變量的影響，例如，通過基于計算機的神經(jīng)網(wǎng)絡。系統(tǒng)內(nèi)的過程的控制通過實施執(zhí)行動作和考慮(taking?into?account)預定控制目標以及所創(chuàng)建的過程模型來進行。

此外，DE?10?2010?062?204?A1文件公開了一種操作磨粉機(mill)的方法,磨粉機具有連續(xù)輸入輸出質(zhì)量流量(mass?flows)，該方法包括如下步驟：

-使用一種基于功率平衡方程(power?balance?equations)的過程模型，具有特征過程變量(characteristic?process?variables)，以用來檢測磨粉機的狀態(tài)，其中，磨粉機質(zhì)量的能量含量(energy?content)和其成分質(zhì)量(content?masses)的每項改變都相當于能量流入與能量流出之差；

-此外，使用一種基于質(zhì)量流量的過程模型作為質(zhì)量平衡方程(mass?balanceequation)，具有特征過程變量，以用來檢測磨粉機狀態(tài)，其中，磨粉機含量質(zhì)量的每項變化都相當于磨粉機質(zhì)量流入與質(zhì)量流出之差；

-測量磨粉機外面的特征過程變量；

-將所測數(shù)值加入到當時各自計算方程(account?equation)中以估算各自特征過程變量，假設其它過程變量已知或可忽略不計；以及

-通過所估算的特征過程變量來控制磨粉機。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提高已知方法的準確性。

根據(jù)本發(fā)明，該目的可通過控制系統(tǒng)內(nèi)的過程的方法來實現(xiàn)，特別是研磨裝置內(nèi)的研磨過程，包括如下步驟：

-獲取系統(tǒng)的狀態(tài)變量(s_t)；

-創(chuàng)建至少兩個過程模型(PM),每個模型描述了執(zhí)行動作(a_t)對系統(tǒng)的狀態(tài)變量(s_t)的影響，其中，至少兩個過程模型(PM)的結(jié)構(gòu)彼此不同；以及

-通過實施執(zhí)行動作(a_t)來控制系統(tǒng)內(nèi)的過程，該執(zhí)行動作考慮到預定控制目標和過程模型，此時，該過程模型對在系統(tǒng)內(nèi)運行的過程的預測結(jié)果最為精確。