[發明專利]一種基板夾持承載臺

有效

• 申請號: 201811201811.2
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN111063652B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 苗濤;鄭云龍;彭博;李檀
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種基板夾持承載臺，包括電機、承載臺、升降CUP及固定CUP，其中電機的輸出端與承載臺相連、驅動承載臺旋轉，所述電機外圍設有固定CUP，該固定CUP的外圍設有可升降的升降CUP；其特征在于：所述承載臺(2)上沿圓周方向分別安裝有隨承載臺(2)轉動的轉動pin(5)及固定pin(6)，該轉動pin(5)與固定pin(6)均包括柱體及夾持塊，所述固定pin(6)的柱體固接在承載臺(2)上，轉動pin(5)的柱體轉動安裝在承載臺(2)上，該轉動pin(5)和固定pin(6)的夾持塊均偏心設置在柱體頂部，所述轉動pin(5)的底部安裝有轉動磁石(501)；所述固定CUP(4)內設有內磁石(8)，升降CUP(3)內設有外磁石(7)，該內磁石(8)與外磁石(7)分別位于所述轉動磁石(501)的內外兩側；

所述升降CUP(3)頂部內徑大于承載臺(2)的外直徑，該升降CUP(3)與所述承載臺(2)的安裝位置同心，所述外磁石(7)安裝于升降CUP(3)頂部的內表面；

所述固定CUP(4)位于承載臺(2)的下方，該固定CUP(4)與承載臺(2)的安裝位置同心，所述內磁石(8)安裝于固定CUP(4)頂部的內表面。

2.根據權利要求1所述的基板夾持承載臺，其特征在于：所述外磁石(7)的數量與轉動pin(5)的數量相同，且外磁石(7)在所述升降CUP(3)上的安裝位置與轉動pin(5)在所述承載臺(2)上的安裝位置一一對應。

3.根據權利要求1所述的基板夾持承載臺，其特征在于：所述升降CUP(3)位于上升狀態時，轉動pin(5)通過所述轉動磁石(501)與固定CUP(4)上的內磁石(8)的磁力作用向夾緊基板(9)的方向旋轉，進而夾緊基板(9)。

4.根據權利要求1所述的基板夾持承載臺，其特征在于：所述升降CUP(3)位于下降狀態時，該升降CUP(3)上的外磁石(7)與轉動磁石(501)之間的磁力大于所述內磁石(8)與轉動磁石(501)之間的磁力，所述轉動pin(5)向放開基板(9)的方向旋轉，進而放開基板(9)。

5.根據權利要求1所述的基板夾持承載臺，其特征在于：所述轉動pin(5)及固定pin(6)的柱體頂部的支撐面與基板(9)邊緣的棱邊(901)接觸，所述夾持塊的側表面為夾持面，該夾持面與所述基板(9)的側面(902)接觸。

6.根據權利要求5所述的基板夾持承載臺，其特征在于：所述轉動pin(5)及固定pin(6)的柱體頂部的支撐面為斜面。

7.根據權利要求1所述的基板夾持承載臺，其特征在于：所述內磁石(8)為多個，沿所述固定CUP(4)頂部內表面圓周方向均布；所述轉動pin(5)及固定pin(6)沿承載臺(2)邊緣的圓周方向均布。