[發(fā)明專利]一種適用于大型真空部件的抽氣機(jī)組

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811200751.2
• 申請日: 2018-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN109340082A
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 鄭旺旺
• 主分類號(hào): F04B37/14
• 分類號(hào): F04B37/14;F04B41/06;F04B39/06;F04B39/16;F04B49/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種適用于大型真空部件的抽氣機(jī)組，其特征在于：包括抽氣裝置、電控部分和支撐；抽氣裝置包括環(huán)形管路、第一波紋管、冷凝過濾器、冷阱、第二波紋管、手動(dòng)蝶閥、旋片泵、羅茨泵、排氣筒；環(huán)形管路主吸氣口與第一波紋管連接，第一波紋管的另一端連接冷凝過濾器上方進(jìn)氣口，冷凝過濾器的中部連接風(fēng)冷機(jī)，冷凝過濾器下方連接冷阱下部進(jìn)氣管道，冷阱上方的一端依次連接蝶閥和第二波紋管，第二波紋管通過彎頭和法蘭與旋片泵相連，旋片泵下方通過管路連接羅茨泵進(jìn)氣口，羅茨泵的排氣口與排氣筒下方抽氣口連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于大型真空部件的抽氣機(jī)組，其特征在于：電控部分包括電控柜、真空規(guī)組件和風(fēng)冷機(jī)；電控柜分別與真空規(guī)組件和風(fēng)冷機(jī)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于大型真空部件的抽氣機(jī)組，其特征在于：支撐包括管路支撐和移動(dòng)支撐，管路支撐上方支撐環(huán)形管路；移動(dòng)支撐上方固定安裝抽氣裝置和電控部分，移動(dòng)支撐包括腳輪、支撐托盤、千斤頂，腳輪和千斤頂安裝于支撐托盤四周的下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于大型真空部件的抽氣機(jī)組，其特征在于：冷凝過濾器包括筒體、圓環(huán)筒、法蘭、過濾裝置組成，法蘭通過螺栓固定在筒體上方，筒體外側(cè)中部焊接環(huán)形圓環(huán)筒，筒內(nèi)通冷卻循環(huán)水，筒體內(nèi)側(cè)中心設(shè)置過濾裝置，過濾裝置與圓環(huán)筒位置等高，筒體底板設(shè)置錐度；其中過濾裝置由上濾板、濾筒、下濾板組成，上濾板、濾筒、下濾板設(shè)置網(wǎng)孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于大型真空部件的抽氣機(jī)組，其特征在于：環(huán)形管路由外徑Φ116mm鋼管通過法蘭連接而成，管路的上方設(shè)置10個(gè)抽氣口。

6.一種權(quán)利要求1-5所述抽氣機(jī)組的使用方法，其特征在于包括以下步驟：

抽氣機(jī)組組裝前，冷凝過濾器、冷阱、排氣筒、環(huán)形管路均需要單獨(dú)檢漏，檢漏漏率低于1x10^-9Pa.m³/s；使用前，環(huán)形管路1先安裝在大型模具的中部，移動(dòng)抽氣機(jī)組到位后，轉(zhuǎn)動(dòng)千斤頂至腳輪離地從而支撐起整個(gè)抽氣裝置，利用第一波紋管連接抽氣裝置和環(huán)形管路1，組裝后的抽氣裝置和環(huán)形管路整體真空檢漏，檢漏漏率低于1x10^-9Pa.m³/s；系統(tǒng)在真空調(diào)試過程中，先開啟風(fēng)冷機(jī)電源，并在風(fēng)冷機(jī)面板上進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，保證整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)行溫度，然后開啟旋片泵進(jìn)行抽真空，真空計(jì)可以實(shí)時(shí)監(jiān)測當(dāng)前真空管道的真空度，經(jīng)過約30min左右真空度達(dá)到1000Pa以下，再開啟羅茨泵控制按鈕，對系統(tǒng)繼續(xù)進(jìn)行抽真空，經(jīng)過約40min左右系統(tǒng)的真空度抽至≤1.5Pa。