[發明專利]一種用于單晶爐的導流筒

在審

• 申請號: 201811197937.7
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN109355695A
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 耿禹恒
• 申請（專利權）人: 徐州振豐原噴灌設備有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 呂波

本發明涉及一種用于單晶爐的導流筒，包括進料筒、分料筒和兩向導筒，所述的進料筒安裝在分料筒的頂部，所述的兩向導筒安裝在分料筒的底部，所述的進料筒的上端連接有法蘭，所述的分料筒的兩側內壁呈圓弧狀，兩側圓弧狀內壁之間安裝有分料機構，所述的分料機構是由伺服電機、轉動軸和分料板，所述的伺服電機安裝在分料筒的外壁上，所述的轉動軸轉動連接在兩側圓弧狀內壁之間并且其的一端穿過分料筒與伺服電機相連，所述的分料板的兩端與兩側圓弧狀內壁相接觸，所述的兩向導筒內設置有分隔板，所述的兩向導筒的內部空間通過分隔板分隔成兩個輸送通道，所述的分隔板的上端伸入至分料筒內；本設計具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。

技術領域

本發明涉及單晶爐技術領域，特別是一種用于單晶爐的導流筒。

背景技術

導流筒作為單晶爐的一個重要部件，在單晶硅的生產中起到了重要的作用，單晶爐的導流筒對晶體生長有很大影響。使用導流筒可以減少爐體上部的氬氣流動渦胞，進而減少 Si0 在單晶爐上部的沉積，從而確保拉制的單晶硅棒具有很高的質量。但是現有的導流筒上下端部的直徑不一樣，從上端部至下端部遞減，這樣由于氣體的流通面減小，氣體通過的該截面時的流速增大，突然增大的流速將會引起氣流的波動，使氬氣流在進入單晶爐下端時氣流強度會加強，導致單晶硅棒晃動、液面波動，嚴重時可導致掉棒等生產事故。此外，現有的導流筒進行熱輻射時，是將熱量向爐壁四周發散，這樣就增加了能耗。因此設計一種可以增加流動面積的單晶爐導流筒就顯得尤為重要。

發明內容

本發明在分料筒內安裝有分料機構，通過分料機構選取兩向導筒相對應的輸送通道進行送料，起到了增加其實用性能的作用；提供一種用于單晶爐的導流筒。

為解決上述的技術問題，本發明的結構包括進料筒、分料筒和兩向導筒，所述的進料筒安裝在分料筒的頂部，所述的兩向導筒安裝在分料筒的底部，所述的進料筒的上端連接有法蘭，所述的分料筒的兩側內壁呈圓弧狀，兩側圓弧狀內壁之間安裝有分料機構，所述的分料機構是由伺服電機、轉動軸和分料板，所述的伺服電機安裝在分料筒的外壁上，所述的轉動軸轉動連接在兩側圓弧狀內壁之間并且其的一端穿過分料筒與伺服電機相連，所述的分料板的兩端與兩側圓弧狀內壁相接觸，所述的兩向導筒內設置有分隔板，所述的兩向導筒的內部空間通過分隔板分隔成兩個輸送通道，所述的分隔板的上端伸入至分料筒內。

進一步：所述的分料板的兩端也呈弧形狀。

又進一步：所述的分料板的兩端開設有導向槽，所述的導向槽內活動連接有限位板，兩側的圓弧狀內壁上開設有與限位板相匹配的卡槽，所述的分料板的底部安裝有兩個電動缸，兩個電動缸依次通過傳動板和螺桿與分料板兩端導向槽內的限位板相連，所述的限位板通過電動缸的驅動連接在卡槽。

又進一步：所述的螺桿的上端固定連接在分料板的底部，所述的螺桿的下端穿過傳動板，所述的傳動板上下兩側的螺桿上各連接有一個鎖緊螺母，所述的傳動板通過上下兩側的鎖緊螺母固定在螺桿上，所述的傳動板與電動缸的出軸端相連。

又進一步：所述的分料筒的上端連接有第二螺桿，所述的法蘭的頂部開設有凹槽，所述的第二螺桿的上端穿過進料筒并伸入至法蘭的凹槽內，所述的凹槽內的第二螺桿上連接有鎖緊螺母，所述的法蘭和進料筒通過鎖緊螺母與第二螺桿的配合固定在分料筒上。

再進一步：所述的分料筒下端的兩側外壁上設置有第一連接座，所述的兩向導筒上端的兩側外壁上設置有第二連接座，所述的第一連接座通過螺紋組件與第二連接座相連。

采用上述結構后，本發明在分料筒內安裝有分料機構，通過分料機構選取兩向導筒相對應的輸送通道進行送料，起到了增加其實用性能的作用；并且本設計還具有結構簡單、易于制造和實用高效的優點。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。

圖1為本發明的結構示意圖。