[發明專利]一種超音波增強電鍍裝置

有效

• 申請號: 201811197205.8
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN109056018B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 黃榮龍;侯利然
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: C25D5/20
• 分類號: C25D5/20;C25D7/12;C25D17/00
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種超音波增強電鍍裝置，包括電鍍池(1)和超聲波震板(3)，其特征在于，所述電鍍池(1)的內側壁固定連接有陽極板(2)，所述陽極板(2)與電鍍電源的正極連接，所述電鍍池(1)的內底壁連接有超聲波震板(3)，所述超聲波震板(3)通過高頻線與超聲波發生器連接，所述超聲波震板(3)的外壁上端固定連接有磁條(8)，所述電鍍池(1)遠離陽極板(2)的外側壁固定連接有連接臺(4)，所述連接臺(4)鉸接有磁性連接桿(5)的一端，所述磁性連接桿(5)為凹字形結構，所述磁性連接桿(5)遠離連接臺(4)的一端固定連接有晶圓夾具(6)，所述晶圓夾具(6)夾有晶圓，所述晶圓與電鍍電源的負極連接；

所述晶圓夾具(6)包括安裝殼(601)和緩沖蓋板(618)，所述緩沖蓋板(618)與安裝殼(601)固定連接，所述安裝殼(601)由環形側板和圓底板構成，所述安裝殼(601)的圓底板外側壁固定連接有兩個平行設置的套板(602)，所述套板(602)轉動套接在蝸桿(603)的兩端，所述蝸桿(603)的一端連接有旋鈕(604)，所述蝸桿(603)嚙合有蝸輪(605)，所述蝸輪(605)同軸固定連接有轉軸(606)的一端，所述轉軸(606)轉動插接在圓底板的中心處，所述轉軸(606)的另一端固定套接有固定軸承(607)，所述固定軸承(607)固定連接在緩沖蓋板(618)的中心處，所述轉軸(606)位于安裝殼(601)內部的一段固定套接有第一齒輪(608)和第二齒輪(610)，所述第一齒輪(608)和第二齒輪(610)規格相同，所述第一齒輪(608)嚙合有兩個平行設置的第一齒條(609)，所述第二齒輪(610)嚙合有兩個平行設置的第二齒條(611)，且第一齒條(609)和第二齒條(611)規格相同，所述第一齒條(609)和第二齒條(611)垂直設置且關于轉軸(606)的軸心中心對稱設置，兩個第二齒條(611)和其中一個第一齒條(609)各固定連接有一個長度調節裝置(616)的一端，所述長度調節裝置(616)的另一端貫穿環形側板到達安裝殼(601)的外部，另一個所述第一齒條(609)固定連接有壓力檢測裝置(617)，所述壓力檢測裝置(617)的另一端貫穿環形側板到達安裝殼(601)的外部，每個所述長度調節裝置(616)均滑動連接在兩個限位隔板(612)之間，所述限位隔板(612)固定連接在圓底板上，所述壓力檢測裝置(617)滑動連接一個限位隔板(612)和一個定位隔板(613)之間；

所述定位隔板(613)包括限位卡板和活動卡板，所述限位卡板位于活動卡板正下方，所述限位卡板固定連接在在圓底板上，所述活動卡板靠近壓力檢測裝置(617)的側壁開設有輪齒型卡槽，所述活動卡板遠離壓力檢測裝置(617)的側壁固定連接有L型拉桿(614)，所述L型拉桿(614)平行于圓底板的一段活動套接有連接板(615)，所述連接板(615)通過連接彈簧與活動卡板連接，所述連接板(615)固定連接在圓底板上，所述L型拉桿(614)垂直于圓底板的一段貫穿圓底板上開設的條形通孔并到達安裝殼(601)的外部；

所述壓力檢測裝置(617)和長度調節裝置(616)均包括滑動組件(6171)，所述壓力檢測裝置(617)上的滑動組件(6171)與其中一個第一齒條(609)連接，并在一個限位隔板(612)和一個定位隔板(613)之間滑動，三個長度調節裝置(616)上的滑動組件(6171)分別與另一個第一齒條(609)和兩個第二齒條(611)連接，并在兩個限位隔板(612)之間滑動，所述滑動組件(6171)遠離轉軸(606)的一端固定連接有L型連接桿(6172)的一端，所述L型連接桿(6172)的另一端貫穿環形側板后到達安裝殼(601)的外部，所述L型連接桿(6172)垂直于圓底板的一段通過檢測彈簧(6173)連接有抵觸板(6174)，所述抵觸板(6174)為圓弧板，所述抵觸板(6174)固定連接有滑動框(6175)，所述滑動框(6175)滑動套接在L型連接桿(6172)平行于圓底板的一段上。