[發(fā)明專(zhuān)利]柔性?xún)?chǔ)能薄膜有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811196365.0 | 申請(qǐng)日： | 2018-07-25 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110767473B | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-06-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馮雪;王志建 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 浙江清華柔性電子技術(shù)研究院;清華大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01G13/00 | 分類(lèi)號(hào)： | H01G13/00;H01G4/33;H01G4/12;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33250 | 代理人： | 李麗華 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉興*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 柔性 薄膜 | ||
1.一種柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述柔性?xún)?chǔ)能薄膜包括柔性金屬襯底以及依次形成于所述柔性金屬襯底上的金屬薄膜和鈦酸鍶層；
其中，所述鈦酸鍶層貼合所述金屬薄膜的表面為由所述金屬薄膜中的金屬原子擴(kuò)散至所述鈦酸鍶層實(shí)現(xiàn)摻雜的擴(kuò)散固溶層，所述金屬薄膜為鍶薄膜、鈣薄膜、鋇薄膜、鉛薄膜中的一種，所述擴(kuò)散固溶層中的金屬原子為鍶、鈣、鋇、鉛中的一種。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述金屬薄膜的厚度為5nm～95nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述鈦酸鍶層的厚度為10nm～2μm，晶粒大小30nm～500nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述擴(kuò)散固溶層的厚度為5nm～10nm，晶粒大小為20nm～300nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述柔性金屬襯底的厚度為12μm～18μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述柔性金屬襯底的表面粗糙度為0.4μm～0.8μm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述柔性金屬襯底的表面張力≥60達(dá)因。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述柔性金屬襯底包括銅箔、鈦箔、銀箔、金箔、鉑箔、鋁箔、鎳箔、鉻箔、錫箔中的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性?xún)?chǔ)能薄膜，其特征在于，所述柔性?xún)?chǔ)能薄膜的最小彎折半徑為2mm～15mm；及/或
所述柔性?xún)?chǔ)能薄膜的擊穿場(chǎng)強(qiáng)為1000kV/cm～3000kV/cm；及/或
所述柔性?xún)?chǔ)能薄膜的儲(chǔ)能密度為12J/cm3～55J/cm3；及/或
所述金屬薄膜與所述柔性金屬襯底的附著力為5B；及/或
所述擴(kuò)散固溶層與所述金屬薄膜的附著力為5B。
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