[發(fā)明專(zhuān)利]一種高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811192693.3 | 申請(qǐng)日: | 2018-10-13 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109411362A | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-03-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張軍偉;張賀源;馮忠卿 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 深圳粵通應(yīng)用材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/48 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/48;B21C1/00;B21C37/04;C22C1/03;C22C5/08;C22F1/14 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 518052 廣東省深圳市*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 中間合金 退火 合金絲 鍵合 制備 高分子化合物 冷熱沖擊 合金棒 熔煉 銀片 致密 表面活性劑 表面形成 惰性氣體 無(wú)水乙醇 保護(hù)層 次拉絲 拉絲機(jī) 雙蒸水 重復(fù) 拉絲 拉鑄 氖氣 繞線 熔鑄 | ||
1.一種高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
S1制備銀片:利用電解將銀塊純度提純至99.995%,并將之制成銀片;
S2制備中間合金:所述中間合金為銀-鈣中間合金、銀-銅中間合金中的一種;所述制作中間合金,包括以下步驟:a.按重量百分比稱(chēng)取99.995%銀片99.43%-99.50%,稱(chēng)取鈣0.50-0.57%;稱(chēng)取銀片95%,稱(chēng)取銅片5%;b.保護(hù)氣體熔煉;c.在保護(hù)氣體下,自然冷卻;d.酸洗;
S3熔煉:將步驟S2中得到的中間合金加入到99.995%的銀中,并在惰性氣體氖氣的保護(hù)下進(jìn)行熔煉,拉鑄,形成合金棒;
S4拉絲:將熔鑄的合金棒在拉絲機(jī)上逐步拉細(xì),直至直徑70-100μm;
S5退火:將拉絲后所得的合金線裝在壓力為0.2-0.4MPa,水溫為40-80℃的高壓水清洗系統(tǒng)中進(jìn)行清洗;再退火,退火溫度溫度為300-600℃,退火速度為62mm/min;
S6:重復(fù)步驟S4進(jìn)行第二次拉絲和重復(fù)步驟S5進(jìn)行第二次退火;
S7表面處理:在鍵合合金絲表面附上一層高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性劑、10%無(wú)水乙醇及80%雙蒸水組成,能在鍵合合金絲表面形成一層很薄很致密的保護(hù)層;S8繞線:將鍵合合金絲纏繞于成品線軸,并真空包裝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述電解提純的電解液為高純水稀釋的硝酸銀溶液,電流為1.8~4.2A,電壓為5~12V,溫度至高為65℃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述步驟S7中退火后的表面處理指在鍵合合金絲表面附上一層高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性劑、10%無(wú)水乙醇及80%雙蒸水組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述步驟S5中退火前經(jīng)過(guò)超聲波清洗機(jī)清洗殘留潤(rùn)滑劑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述步驟S3中保護(hù)氣體熔煉的熔煉功率為10kW,待完全熔化后保持溫度精煉10min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述步驟S2中酸洗過(guò)程指將生成的中間合金先用純水冷卻,然后放到燒杯中并加入濃鹽酸,將燒杯放到電爐上加熱15min,煮完后再用純水洗,最后用壓縮空氣吹干。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述繞線是將表面清潔處理后的鍵合合金絲繞制在卷軸上,繞線張力為2~15g,繞線速度為50~80m/min,線間距為4.5~5.5mm,分卷長(zhǎng)度為300~1000m/軸。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高強(qiáng)度耐冷熱沖擊鍵合合金絲的制備方法,其特征在于,所述步驟S4中,其拉絲過(guò)程中的模具延伸率為5%-18%,拉絲速度為3-15m/s。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于深圳粵通應(yīng)用材料有限公司,未經(jīng)深圳粵通應(yīng)用材料有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811192693.3/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





