[發(fā)明專利]用于減小非線性運動的構型

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811189802.6
• 申請日: 2015-01-21
• 公開（公告）號: CN109520489B
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發(fā)明（設計）人: 奧贊·阿納奇;約瑟夫·西格
• 申請（專利權）人: 應美盛公司
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 楊明釗;寧曉

1.一種微電子機械系統(tǒng)MEMS傳感器，包括：

第一旋轉臂和第二旋轉臂，其中該第一旋轉臂和該第二旋轉臂彼此聯(lián)接并且該第一旋轉臂和該第二旋轉臂被配置成用于在被驅動進行振蕩時逆向旋轉；

第一前進系統(tǒng)，其包括彼此聯(lián)接的第一前進質量和第一檢測質量；

第二前進系統(tǒng)，其包括彼此聯(lián)接的第二前進質量和第二檢測質量；

多個致動器，用于驅動該第一前進系統(tǒng)和該第二前進系統(tǒng)在第一方向上進行振蕩，并且導致該第一旋轉臂和該第二旋轉臂在包括該第一方向的平面中逆向旋轉；

其中該第一前進系統(tǒng)通過第一柔性元件系統(tǒng)聯(lián)接到該第一旋轉臂，并且該第二前進系統(tǒng)通過第二柔性元件系統(tǒng)聯(lián)接到該第二旋轉臂，并且其中該第一前進質量通過第三柔性元件系統(tǒng)聯(lián)接到該第二前進質量；

第一多個換能器，其與該第一前進系統(tǒng)相關聯(lián)并且被配置成感測與該第一前進系統(tǒng)的至少一部分相關聯(lián)的第一運動，而且與該第二前進系統(tǒng)相關聯(lián)并且被配置成感測與該第二前進系統(tǒng)的至少一部分相關聯(lián)的第二運動；

其中該第一運動和該第二運動各包括在第二方向上的第一運動分量和在該第二方向上的第二運動分量，該第二方向是與該第一方向共面且正交的，并且其中由于施加到該MEMS傳感器的與該第一方向和該第二方向正交的角速度，該第一運動分量包括科里奧利運動，并且該第二運動分量包括二階諧振運動；以及

其中該第一多個換能器電聯(lián)接，使得對于與該第一運動和該第二運動相關聯(lián)的信號的組合，當組合時，從信號的該組合中取消與該二階諧振運動相關聯(lián)的信號。

2.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其中該第一前進系統(tǒng)和該第二前進系統(tǒng)在平行于基板的平面中移動。

3.如權利要求2所述的MEMS傳感器，其中該第一旋轉臂和該第二旋轉臂通過一組柔性元件而聯(lián)接至該基板上的一個錨定件系統(tǒng)上。

4.如權利要求1所述的MEMS傳感器，其中該第一多個換能器還被配置成感測該第一運動和該第二運動，該第二運動與該第一檢測質量和該第二檢測質量中的每個的至少一部分相關聯(lián)。

5.如權利要求1所述的MEMS傳感器，還包括：

該第一前進系統(tǒng)包括彼此聯(lián)接的第一對前進質量和第一對檢測質量；

該第二前進系統(tǒng)包括彼此聯(lián)接的第二對前進質量和第二對檢測質量；

其中包括該第一前進質量的該第一對前進質量中的一個通過該第三柔性元件系統(tǒng)聯(lián)接到包括該第二前進質量的該第二對前進質量中的一個；

其中在被驅動進行振蕩時，該第一對前進質量中的一個和該第一對檢測質量中的一個在與該第一方向平行的相反方向上移動，并且其中該第二對前進質量中的一個和該第二對檢測質量中的一個在與該第一方向平行的相反方向上移動；以及

其中在被驅動進行振蕩時，并且由于施加到該MEMS傳感器的與該第一方向和該第二方向正交的角速度，該第一對檢測質量中的一個在與該第二方向平行的相反方向上移動，該第二方向與該第一方向正交，并且其中該第二對檢測質量中的一個在與該第二方向平行的相反方向上移動。

6.如權利要求5所述的MEMS傳感器，還包括：

第二多個換能器，其被配置成感測該第一對檢測質量或該第二對檢測質量中的至少一個的至少一部分的運動。

7.如權利要求6所述的MEMS傳感器，其中該第二多個換能器被配置成感測該第一前進系統(tǒng)和該第二前進系統(tǒng)的至少另一部分在該第二方向上的運動。

8.如權利要求6所述的MEMS傳感器，其中該第二多個換能器還被配置成提供與該第一對檢測質量的運動相關聯(lián)的第一組差分信號，并且被配置成提供與該第二對檢測質量的運動相關聯(lián)的第二組差分信號。

9.如權利要求8所述的MEMS傳感器，其中，由于該第一對檢測質量和該第二對檢測質量的運動與該第二方向平行，該第一組差分信號和該第二組差分信號由該第二多個換能器提供。