[發(fā)明專利]一種薄膜制備方法、顯示面板及其制備方法、顯示裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811188861.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-12
• 公開（公告）號(hào): CN109309159A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡月;廖金龍;王欣欣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/00
• 分類號(hào): H01L51/00;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤(rùn)湘

本申請(qǐng)公開了一種薄膜制備方法、顯示面板及其制備方法、顯示裝置，用以避免噴墨打印成膜厚度不均。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的一種薄膜制備方法，該方法包括：根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，調(diào)節(jié)并保持襯底上不同區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增；按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序在所述襯底上進(jìn)行噴墨打印。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜制備方法、顯示面板及其制備方法、顯示裝置。

背景技術(shù)

有機(jī)電致發(fā)光顯示(Organic Light-Emitting Display，OLED)器件具有自發(fā)光、高發(fā)光效率、低工作電壓、輕薄、可柔性化以及制程工藝簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，在顯示照明等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。由于噴墨打印(ink jet print，IJP)是一種可直接進(jìn)行圖案化薄膜沉積的新型制程技術(shù)，因此目前OLED器件中的各功能層，如空穴傳輸層、有機(jī)發(fā)光層以及電子傳輸層等通常是采用噴墨打印技術(shù)形成特定的圖案的。然而，在噴墨打印過程中，由于目前噴墨打印機(jī)的噴頭尺寸遠(yuǎn)小于襯底基板的尺寸，噴墨打印機(jī)需要通過多次打印才能將墨滴完全覆蓋在整個(gè)襯底基板上。當(dāng)噴墨打印機(jī)按順序在襯底基板上的不同區(qū)域依次形成墨滴時(shí)，由于噴墨打印時(shí)間的差距導(dǎo)致前后進(jìn)行打印的像素中墨水溶劑揮發(fā)狀況不一致，在先噴出的墨滴周圍干燥氛圍與在后噴出的墨滴周圍干燥氛圍不同，使得整個(gè)襯底基板上的墨滴干燥不均勻，進(jìn)而在相鄰打印區(qū)域之間出現(xiàn)明顯的邊界痕跡，并且在墨滴最先打印的區(qū)域和墨滴最后打印的區(qū)域出現(xiàn)薄膜干燥程度差異最為明顯。綜上，現(xiàn)有技術(shù)采用噴墨打印形成OLED功能層，會(huì)導(dǎo)致沉積在襯底基板上的OLED薄膜成膜不均勻，影響OLED器件的發(fā)光均勻度。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種薄膜制備方法、顯示面板及其制備方法、顯示裝置，用以避免噴墨打印成膜厚度不均。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的一種薄膜制備方法，該方法包括：

根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，調(diào)節(jié)并保持襯底上不同區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增；

按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序在所述襯底上進(jìn)行噴墨打印。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的薄膜制備方法，由于在噴墨打印之前對(duì)襯底的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得襯底的不同區(qū)域的溫度按照噴墨打印的順序遞增，即對(duì)襯底進(jìn)行區(qū)域化溫度控制，從而可以控制并平衡不同區(qū)域噴墨打印溶劑的揮發(fā)速率，避免由于噴墨打印時(shí)間的差距導(dǎo)致先后進(jìn)行噴墨打印的區(qū)域中噴墨打印溶劑揮發(fā)狀況不一致，從而可以減少不同區(qū)域噴墨打印溶劑總的干燥時(shí)間差異和干燥氛圍差異，進(jìn)而可以避免采用噴墨打印工藝制備薄膜出現(xiàn)的成膜厚度不均，可以避免相鄰噴墨打印區(qū)域之間出現(xiàn)邊界痕跡。

可選地，根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，調(diào)節(jié)并保持襯底上不同區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增之前，該方法還包括：形成包括微型半導(dǎo)體制冷片的襯底；

根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，所述調(diào)節(jié)并保持襯底上不同區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增，具體包括：

根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，為所述微型半導(dǎo)體制冷片施加電流，保持每一所述微型半導(dǎo)體制冷片對(duì)應(yīng)的區(qū)域形成溫度梯度，并保持不同所述微型半導(dǎo)體制冷片對(duì)應(yīng)的區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增。

可選地，在調(diào)節(jié)襯底的溫度之前，該方法還包括：

將所述襯底置于包括微型半導(dǎo)體制冷片的溫度調(diào)節(jié)基板之上；

根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，所述調(diào)節(jié)并保持襯底上不同區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增，具體包括：

根據(jù)噴墨打印的時(shí)間以及預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序，為所述微型半導(dǎo)體制冷片施加電流，保持每一所述微型半導(dǎo)體制冷片對(duì)應(yīng)的區(qū)域形成溫度梯度，并保持不同的所述微型半導(dǎo)體制冷片對(duì)應(yīng)的區(qū)域的溫度按照預(yù)設(shè)噴墨打印先后順序遞增；