[發(fā)明專利]一種有機(jī)發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811184473.6
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN111048698B
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許楊;黃志剛
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京知元同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11535
• 代理人: 劉元霞

1.一種有機(jī)發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法，包括：

在襯底表面形成陽極結(jié)構(gòu)，其中，相鄰的所述陽極結(jié)構(gòu)之間具有間隔區(qū)；

形成隔絕材料膜，所述隔絕材料膜覆蓋所述陽極結(jié)構(gòu)的所述間隔區(qū)，以及所述陽極結(jié)構(gòu),所述隔絕材料膜的厚度為第一厚度；

采用干法刻蝕，將所述隔絕材料膜減薄到第二厚度；

刻蝕減薄后的所述隔絕材料膜，露出各陽極結(jié)構(gòu)的至少部分，使得所述隔絕材料膜覆蓋各陽極結(jié)構(gòu)的位于所述間隔區(qū)周圍的一部分；

在所述隔絕材料膜的表面以及從所述隔絕材料膜露出的所述陽極結(jié)構(gòu)的表面形成有機(jī)發(fā)光材料膜；以及

在所述有機(jī)發(fā)光材料膜表面形成陰極薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，

所述陽極結(jié)構(gòu)為鋁(Al)和氧化銦錫(ITO)疊層。

3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，

所述干法刻蝕所用的氣體包含碳(C)、氟(F)和氧(O)元素。

4.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，

所述隔絕材料膜的材料是旋轉(zhuǎn)涂布的玻璃(SOG),等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)的氧化物，或者光刻膠。