[發明專利]靜電卡盤及反應腔室

在審

• 申請號: 201811183845.3
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN111048460A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 黃其偉;史全宇
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種靜電卡盤，包括絕緣層和設置在所述絕緣層底部的加熱體，其特征在于，還包括：

冷卻結構，設置在所述加熱體的下方，且與所述加熱體間隔設置，所述冷卻結構用于通過冷卻液體來將所述加熱體的熱量導出。

2.根據權利要求1所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻結構包括：

冷卻管路，與所述加熱體間隔分離設置；

傳熱板，呈薄壁狀，且分別與所述加熱體和所述冷卻管路連接，用于將所述加熱體的熱量傳遞至所述冷卻管路。

3.根據權利要求2所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻結構還包括法蘭，所述法蘭與所述加熱體的底部連接，且環繞在所述冷卻管路的周圍；

所述傳熱板呈環狀，且所述傳熱板的內周壁和外周壁分別與所述冷卻管路和所述法蘭相接觸。

4.根據權利要求3所述的靜電卡盤，其特征在于，通過設定不同的所述傳熱板的軸向厚度、徑向長度和/或所述傳熱板的內周壁和外周壁分別與所述冷卻管路和所述法蘭相接觸的接觸面積，來控制所述傳熱板的散熱效率。

5.根據權利要求4所述的靜電卡盤，其特征在于，所述傳熱板的散熱效率的取值范圍在10W～500W。

6.根據權利要求2所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻結構與所述加熱體之間的間距的取值范圍在2～30mm。

7.根據權利要求6所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻結構與所述加熱體之間的間距為5mm。

8.根據權利要求2所述的靜電卡盤，其特征在于，所述傳熱板與所述冷卻管路采用焊接的方式連接。

9.根據權利要求2-8任意一項所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻結構還包括：

吸熱結構，與所述冷卻管路接觸，且位于所述加熱體的下方，用于吸收來自所述加熱體輻射出的熱量。

10.根據權利要求9所述的靜電卡盤，其特征在于，所述吸熱結構包括吸熱盤，所述吸熱盤設置在所述冷卻管路的上方，且與所述冷卻管路固定連接；并且，在所述吸熱盤的與所述加熱體相對的表面上設置有多個吸熱片。

11.根據權利要求10所述的靜電卡盤，其特征在于，多個所述吸熱片為內徑不同的多個環體，且多個所述環體同心設置。

12.根據權利要求10所述的靜電卡盤，其特征在于，所述冷卻管路沿所述吸熱盤的周向環繞設置。

13.一種反應腔室，其特征在于，包括權利要求1-12任意一項所述的靜電卡盤。