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[發明專利]來自通過其它基團固化的含有雙芳基環丁烯基團的單體的聚合物和其制備方法在審

專利信息
申請號: 201811182920.4 申請日: 2018-10-10
公開(公告)號: CN109651564A 公開(公告)日: 2019-04-19
發明(設計)人: W·薩特勒;M·K·加拉格爾;K·Y·王;P·特雷福納斯三世;M·穆勒澤;C·吉爾摩;G·D·普羅科普維奇 申請(專利權)人: 羅門哈斯電子材料有限責任公司
主分類號: C08F222/06 分類號: C08F222/06;C08F230/08;C08F222/40
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100 代理人: 陳哲鋒;胡嘉倩
地址: 美國馬*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 芳基環 丁烯 固化 聚合物組合物 有機溶劑 聚合物 可溶 制備 共聚形式 親二烯體 光刻 堿水 烯烴 顯影 優選 消耗 制造
【權利要求書】:

1.一種可溶于有機溶劑或可溶于堿水的聚合物組合物,其包含呈共聚形式的一種或多種雙芳基環丁烯單體和一種或多種含有烯烴或親雙烯體基團的第二單體,其中所述聚合物基本上不含未反應的芳基環丁烯基團。

2.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其中所述一種或多種雙芳基環丁烯單體選自雙苯并環丁烯(雙BCB)或含有一個或多個其它烯烴或烯系不飽和基團的雙芳基環丁烯單體。

3.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其中所述一種或多種雙芳基環丁烯單體是1,3-雙(2-雙環[4.2.0]辛-1,3,5-三烯-3-基-乙烯基)-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷(DVS-雙BCB)。

4.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其中所述一種或多種含有烯烴基團或親雙烯體基團的第二單體含有至少一個選自乙烯基、烯丙基、烯烴或炔基的基團。

5.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其中所述一種或多種含有烯烴基團或親雙烯體基團的第二單體是(i)具有選自羧酸、酸酐、羧酸酯、酰胺酸、二羧酸的N-烷基酰亞胺、二羧酸的N-芳基酰亞胺、二羧酸的N-酰亞胺、羧酸酯、環砜、磺酸、乙酰乙酸酯、鏈烷醇、酰胺、苯酚、磺酰胺和(烷)氧基硅烷的酸性或可水解基團的單體。

6.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其中所述一種或多種含有烯烴基團或親雙烯體基團的第二單體是(ii)選自環烯烴;環烯烴的二聚體;二烯;具有兩個或多個乙烯基的含有芳香族乙烯基的單體;炔烴;直鏈和分支鏈烯烴;烯丙基、炔烴或馬來酰亞胺封端的聚酰亞胺、多元醇或聚亞芳基醚或聚硅氧烷;或其它具有至少150℃的標準沸點的含有烯系不飽和基團的非極性單體,其中所述組合物可以用有機溶劑顯影。

7.根據權利要求1所述的聚合物組合物,還包含交聯劑、固化劑或這兩種。

8.根據權利要求5所述的聚合物組合物,還包含選自縮合交聯劑、與聚合物分開的交聯單體或其混合物的交聯劑。

9.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其溶于堿水中,并且包含呈共聚形式的所述雙芳基環丁烯單體,和具有酸性基團的含有一個或多個烯烴基團或親雙烯體基團的第二單體,所述聚合物組合物還包含縮合交聯劑并且通過所述交聯劑與所述酸性基團的縮合反應固化。

10.根據權利要求1所述的聚合物組合物,其中一種或多種含有烯烴基團或親雙烯體基團的第二單體含有第二親雙烯體基團,并且所述組合物可以在固化劑存在下通過熱誘導或光誘導的引發反應來交聯。

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