[發明專利]一種鍍銅后銅面防氧化液及制備方法在審
| 申請號： | 201811178463.1 | 申請日： | 2018-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN109295449A | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發明（設計）人： | 張毅;張新學;劉龍平 | 申請（專利權）人： | 深圳市互連微電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C22/68 | 分類號： | C23C22/68 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知識產權代理事務所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凱 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 銅面 防氧化液 鍍銅 成膜主劑 抗氧化 去除 制備 銅面抗氧化劑 表面活性 化學沉銅 抗氧化膜 去離子水 保護膜 電鍍銅 化學鍍 加速劑 濃度計 電鍍 絡合 硫酸 申請 鹽酸 配方 清洗 | ||
1.一種鍍銅后銅面防氧化液，其特征在于，以質量濃度計，包括：
2.根據權利要求1所述的防氧化液，其特征在于，所述抗氧化成膜主劑包括有機膦酸、有機膦酸鹽、多聚磷酸鹽、有機膦酸鹽或有機膦酸復配物、有機膦酸與多聚磷酸鹽復配物、有機膦酸鹽與多聚磷酸鹽復配物中的一種或者多種。
3.根據權利要求2所述的防氧化液，其特征在于，所述有機膦酸包括氨基三甲叉膦酸、羥基乙叉二膦酸、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸中的一種或多種；
所述有機膦酸鹽包括氨基三甲叉膦酸鹽、羥基乙叉二膦酸鹽、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸鹽、二乙烯三胺五甲叉膦酸鹽中的一種或多種。
4.根據權利要求2所述的防氧化液，其特征在于，所述多聚磷酸鹽包括焦磷酸鈉、多聚磷酸鈉、多聚磷酸鉀、六偏磷酸鈉、六偏磷酸鉀、焦磷酸鉀中的一種或多種。
5.根據權利要求1所述的防氧化液，其特征在于，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑、陽離子表面活性劑、非離子表面活性劑、兩性表面活性劑中的一種或者兩種。
6.根據權利要求5所述的防氧化液，其特征在于，所述表面活性劑包括陰離子表面活性劑與非離子表面活性的復配物。
7.根據權利要求6所述的防氧化液，其特征在于，所述陰離子表面活性劑與非離子表面活性的復配物的質量濃度包括0.1g/L-1g/L。
8.根據權利要求1至7任一項所述的防氧化液，其特征在于，所述加速劑為硫酸銅。
9.根據權利要求1至7任一項所述的防氧化液，其特征在于，所述抗氧化膜主劑的質量濃度包括10g/L-50g/L。
10.一種鍍銅后銅面防氧化液的制備方法，其特征在于，包括：
將成膜主劑、表面活性劑加入水中,再加入加速劑,混合得到防氧化液；
以質量濃度計，所述防氧化液包括：
以使得在25-40℃的條件下,將完成化學沉銅或者電鍍銅印制電路板在所述防氧化液中浸漬3-20min。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C22-00 表面與反應液反應、覆層中留存表面材料反應產物的金屬材料表面化學處理，例如轉化層、金屬的鈍化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔體
C23C22-73 .以工藝為特征的
C23C22-78 .待鍍覆材料的預處理
