[發明專利]一種氣壓驅動精密微泵

有效

• 申請號: 201811167111.6
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN109351367B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 張鑫杰
• 申請（專利權）人: 河海大學常州校區
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種氣壓驅動精密微泵，其特征在于：包括

氣壓模塊，包括氣囊；

單向閥組，包括第一單向閥和第二單向閥，所述第一單向閥的入口通向外界大氣，出口通向所述氣囊，所述第二單向閥的入口通向氣囊，出口通向蓄液模塊；

蓄液模塊，包括空腔和蓄液池，所述空腔與蓄液池之間通過第一彈性膜片間隔，所述空腔為封閉腔體，所述蓄液池通過第二單向閥與所述氣囊連接；

調流模塊，包括第一流道和第二流道，所述第一流道和第二流道均連通所述蓄液池，所述第一流道出口封閉，所述第二流道出口通向調流模塊外，所述第一流道和所述第二流道通過第二彈性膜片間隔。

2.根據權利要求1所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述氣囊由底板和曲面壁圍成，所述曲面壁為彈性材料，所述底板上設有外孔、第一內孔和第二內孔，所述外孔連通所述第一單向閥的入口，所述第一內孔連接所述第一單向閥的出口，所述第二內孔連接所述第二單向閥的入口。

3.根據權利要求1或2所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述第一單向閥和所述第二單向閥均包括氣流通道、第三彈性膜片和凸臺，所述凸臺設置在所述氣流通道的內壁，所述第三彈性膜片橫跨于所述氣流通道內，所述第三彈性膜片一側固定連接所述氣流通道內壁，一側貼合在所述凸臺上。

4.根據權利要求1所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述調流模塊包括總流道、第一流道和第二流道，所述蓄液池內的液體流經總流道后分流為第一流道和第二流道，所述第二彈性膜片設置在所述第二流道側壁上，所述第一流道通向所述第二彈性膜片，增加所述第一流道的壓力，所述第二彈性膜片向所述第二流道彎曲。

5.根據權利要求1所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述第二彈性膜片在受到流體壓力時能夠發生形變位移量，所述形變位移量大于膜片自身厚度的5倍，所述流體壓力小于30kPa。

6.根據權利要求3所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述第三彈性膜片在受到流體壓力時能夠發生形變位移量，所述形變位移量大于膜片自身厚度的5倍。

7.根據權利要求3所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述第一彈性膜片、第二彈性膜片、第三彈性膜片和氣囊的材質均為聚二甲基硅氧烷。

8.根據權利要求7所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述聚二甲基硅氧烷中預聚體和交聯體的質量比為20:1。

9.根據權利要求1所述的氣壓驅動精密微泵，其特征在于：所述微泵采用微流控中的軟光刻技術制作，材質為聚二甲基硅氧烷。