[發(fā)明專利]一種薄膜制備工藝以及涉及該工藝的氣體傳感器制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811166608.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109411606B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于軍勝;侯思輝;莊昕明;王嘯林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L51/40
• 分類號(hào): H01L51/40;H01L51/05;G01N27/414
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 蔣秀清;李春芳

1.一種氣體傳感器制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

①利用洗滌劑、丙酮溶液、去離子水和異丙醇溶液對(duì)襯底進(jìn)行清洗，清洗后用氮?dú)獯蹈桑?/p>

②在襯底表面制備柵電極；

③在所述柵電極上面制備介電層；

④使襯底以轉(zhuǎn)速為1000～5000rad/min的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并使得有機(jī)半導(dǎo)體溶液經(jīng)由噴嘴垂直噴射到旋轉(zhuǎn)的介電層表面，噴嘴噴射的速率范圍為10～100μL/s，在介電層上制備得到有機(jī)半導(dǎo)體層；

⑤在有機(jī)半導(dǎo)體層上制備源電極和漏電極。

2.如權(quán)利要求1所述的一種氣體傳感器制備方法，其特征在于：步驟④的制備時(shí)間為20s～2min。

3.如權(quán)利要求1所述的一種氣體傳感器制備方法，其特征在于：步驟③中，介電層通過(guò)旋涂、輥涂、滴膜、壓印、印刷或噴涂中的一種方法制備。

4.如權(quán)利要求1所述的一種氣體傳感器制備方法，其特征在于：步驟②、⑤中，柵電極、源電極、漏電極是通過(guò)真空熱蒸鍍、磁控濺射、等離子體增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積、絲網(wǎng)印刷、打印或旋涂中的一種方法制備。

5.如權(quán)利要求1所述的一種氣體傳感器制備方法，其特征在于：所述介電層為有機(jī)介電材料構(gòu)成，所述有機(jī)介電材料為聚乙烯醇、聚酰亞胺、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯中的一種或多種的組合；所述介電層厚度為300～520nm。

6.如權(quán)利要求1所述的一種氣體傳感器制備方法，其特征在于：所述有機(jī)半導(dǎo)體層的材料為可溶性的有機(jī)半導(dǎo)體材料，可溶性的有機(jī)半導(dǎo)體材料為聚3-己基噻吩、Tips-并五苯、含硅氧烷的聚異戊二烯衍生物、PBTTT系列中的一種，所述半導(dǎo)體層的厚度為25～100nm。

7.如權(quán)利要求1所述的一種氣體傳感器制備方法，其特征在于：所述柵電極、源電極和漏電極材料為鐵納米線、銅納米線、銀納米線、金納米線、鋁納米線、鎳納米線、鈷納米線、錳納米線、鎘納米線、銦納米線、錫納米線、鎢納米線和鉑納米線中的一種。