[發(fā)明專利]壓力控制裝置及投影物鏡裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811163266.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110967932A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李佳;楊志斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種壓力控制裝置，用于調(diào)節(jié)投影物鏡中的絕對(duì)壓力，其特征在于，包括：驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接的腔室，所述腔室與所述投影物鏡連通，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述投影物鏡中絕對(duì)壓力情況驅(qū)動(dòng)所述腔室的容積發(fā)生變化，以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述投影物鏡中絕對(duì)壓力的調(diào)節(jié)。

2.如權(quán)利要求1所述的壓力控制裝置，其特征在于，還包括：絕對(duì)壓力傳感器和控制單元，所述絕對(duì)壓力傳感器實(shí)時(shí)采集所述投影物鏡中的絕對(duì)壓力，并將采集結(jié)果反饋給所述控制單元，所述控制單元根據(jù)所述采集結(jié)果控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)執(zhí)行對(duì)應(yīng)操作。

3.如權(quán)利要求2所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述采集結(jié)果為所述投影物鏡中的絕對(duì)壓力高于預(yù)定閾值時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述腔室的容積增大，以減小所述腔室中的絕對(duì)壓力。

4.如權(quán)利要求2所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述采集結(jié)果為所述投影物鏡中的絕對(duì)壓力低于預(yù)定閾值時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述腔室的容積減小，以增大所述腔室中的絕對(duì)壓力。

5.如權(quán)利要求2所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：活塞、活塞桿及氣缸，所述活塞容置于所述氣缸中并可在氣缸中進(jìn)行伸出或收回運(yùn)動(dòng)，所述活塞桿的一端與活塞連接，所述活塞桿的另一端與所述腔室連接。

6.如權(quán)利要求5所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述活塞在氣缸中進(jìn)行伸出運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，所述腔室的容積減小，所述腔室中的絕對(duì)壓力增大，所述投影物鏡中的絕對(duì)壓力升高。

7.如權(quán)利要求5所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述活塞在氣缸中進(jìn)行收回運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，所述腔室的容積增大，所述腔室中的絕對(duì)壓力減小，所述投影物鏡中的絕對(duì)壓力降低。

8.如權(quán)利要求5所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為驅(qū)動(dòng)器時(shí)，所述控制單元為比例調(diào)壓閥。

9.如權(quán)利要求5所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器時(shí)，所述控制單元為PLC控制器。

10.如權(quán)利要求5所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器時(shí)，所述控制單元為PCB板，所述PCB板為所述絕對(duì)壓力傳感器供電，接收所述絕對(duì)壓力傳感器輸出的采集結(jié)果，并根據(jù)所述采集結(jié)果控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)執(zhí)行對(duì)應(yīng)操作。

11.如權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的壓力控制裝置，其特征在于，所述腔室的材質(zhì)為柔性材料。

12.一種投影物鏡裝置，其特征在于，包括投影物鏡單元及與所述投影物鏡單元連通的如權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述壓力控制裝置。