[發(fā)明專利]一種復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811158982.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-09-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN109267150A | 公開(公告)日: | 2019-01-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 任麗敏;劉兵;吳純;鐘德京;黃秀秀;彭也慶;賈建廣 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江西中材太陽(yáng)能新材料有限公司;中材江蘇太陽(yáng)能新材料有限公司;中材高新材料股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B28/06 | 分類號(hào): | C30B28/06;C30B29/06;C04B35/14;C04B35/622 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫;熊永強(qiáng) |
| 地址: | 338000 江西*** | 國(guó)省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 石英陶瓷坩堝 復(fù)合結(jié)構(gòu) 高純石英層 高純石英砂 坩堝本體 硅錠 多晶硅鑄錠 多晶硅錠 內(nèi)表面 中粒徑 紅邊 粒徑 制備 | ||
1.一種復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝包括坩堝本體以及設(shè)置在所述坩堝本體的全部或部分內(nèi)表面的高純石英層,所述高純石英層的材料包括純度大于99.99%且粒徑不超過5mm的高純石英砂,其中,所述高純石英砂中粒徑大于2mm的顆粒質(zhì)量占比為10%-35%。
2.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述高純石英層中,所述高純石英砂通過有機(jī)聚合物單體交聯(lián)形成的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)聯(lián)結(jié)在一起。
3.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述高純石英砂包括粗骨料高純石英砂和細(xì)粉料高純石英砂,所述高純石英層中所述粗骨料高純石英砂和所述細(xì)粉料高純石英砂的質(zhì)量比為1:(1-4),所述粗骨料高純石英砂的粒徑為0.5mm-5mm,所述細(xì)粉料高純石英砂的粒徑小于0.5mm。
4.如權(quán)利要求3所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述細(xì)粉料高純石英砂按質(zhì)量占比由以下不同粒徑顆粒組成:
粒徑大于0.1mm且小于0.5mm 10%-30%
粒徑0.05mm-0.1mm 30%-60%
粒徑小于0.05mm 30%-60%。
5.如權(quán)利要求3所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述粗骨料高純石英砂按質(zhì)量占比由以下不同粒徑顆粒組成:
粒徑大于2mm且不超過5mm 50%-70%
粒徑1mm-2mm 20%-40%
粒徑不小于0.5mm且小于1mm 10%-30%。
6.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝的體積密度大于1.9g/cm3。
7.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝,其特征在于,所述高純石英層的粗糙度為5μm-50μm,厚度為0.1mm-20mm。
8.一種復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝的制備方法,其特征在于,包括:
將高純石英砂與水混合研磨成石英漿料,所述高純石英砂的純度大于99.99%且粒徑不超過5mm,其中,所述高純石英砂中粒徑大于2mm的顆粒質(zhì)量占比為10%-35%;向所述石英漿料中加入有機(jī)聚合物單體、交聯(lián)劑和引發(fā)劑,混合均勻形成混合漿料;
取坩堝本體,采用注凝工藝將所述混合漿料注入所述坩堝本體,經(jīng)固化使所述坩堝本體的全部或部分內(nèi)表面上形成高純石英層,經(jīng)粗糙化處理得到復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝。
9.如權(quán)利要求8所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝的制備方法,其特征在于,所述混合漿料中所述有機(jī)聚合物單體的質(zhì)量占比為0.1%-5%,所述混合漿料中所述交聯(lián)劑的質(zhì)量占比為所述有機(jī)聚合物單體質(zhì)量的0.1%-5%,所述混合漿料中所述引發(fā)劑的質(zhì)量占比為0.01%-2%,所述混合漿料的固相含量大于90%wt。
10.如權(quán)利要求8所述的復(fù)合結(jié)構(gòu)石英陶瓷坩堝的制備方法,其特征在于,所述固化包括水浴固化、電加熱固化和微波固化中的至少一種,所述固化的溫度為50℃-80℃,固化時(shí)間為10min-50min。
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