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[發明專利]一種用于顯示面板的制造設備和清洗方法在審

專利信息
申請號: 201811158805.3 申請日: 2018-09-30
公開(公告)號: CN109212793A 公開(公告)日: 2019-01-15
發明(設計)人: 劉重陽 申請(專利權)人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
主分類號: G02F1/13 分類號: G02F1/13
代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240 代理人: 邢濤
地址: 518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道水田村民*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 工作管道 機臺 顯示面板 玻璃基板 清洗 供氣管路 制造設備 自動閥 連通 傳送玻璃基板 供氣裝置 供液管路 供液裝置 檢測裝置 輸送物料 供液管 除掉 光阻 制程 生產成本 出口 承載 傳送 檢測 節約
【權利要求書】:

1.一種用于顯示面板的制造設備,其特征在于,包括:

機臺,用于承載和傳送玻璃基板;

工作管道,設在所述機臺的上方,用于輸送物料作用于所述玻璃基板;

供氣裝置,與所述工作管道通過供氣管路連通;

供液裝置,與所述工作管道通過供液管路連通;

其中,所述機臺上設有用于檢測所述機臺上傳送所述玻璃基板狀態的檢測裝置,所述供氣管路上設有第一自動閥,所述供液管路上設有第二自動閥,所述檢測裝置與所述第一自動閥和所述第二自動閥耦接。

2.如權利要求1所述的一種用于顯示面板的制造設備,其特征在于,所述供液裝置包括第一供液裝置,所述第一供液裝置包括第一進液口和設置在第一進液口與所述第二自動閥之間的第一手動閥,所述第一進液口和第一手動閥設置在所述供液管路上,所述第一供液裝置通過所述供液管路向所述工作管道輸出第一料液。

3.如權利要求1所述的一種用于顯示面板的制造設備,其特征在于,所述供液裝置包括第二供液裝置,所述第二供液裝置包括第二進液口和設置在第二進液口與所述第二自動閥之間的第二手動閥,所述第二進液口和第二手動閥設置在所述供液管路上,所述第二供液裝置通過所述供液管路向所述工作管道輸出第二料液。

4.如權利要求1所述的一種用于顯示面板的制造設備,其特征在于,所述供氣裝置包括進氣口、調壓閥和第三手動閥,所述進氣口、調壓閥和第三手動閥設置在所述供氣管路上,所述調壓閥靠近所述進氣口,所述第三手動閥靠近所述工作管道,所述第一自動閥位于所述調壓閥和所述第三手動閥之間,所述供氣裝置通過所述供氣管路向所述工作管道輸出壓縮氣體。

5.如權利要求1所述的一種用于顯示面板的制造設備,其特征在于,所述工作管道靠近所述機臺的一側設置有風刀口,所述工作管道靠近所述機臺的一端與所述機臺的垂直距離大于所述玻璃基板的厚度,所述風刀口為長條狀開口,所述風刀口與所述工作管道的設置方向一致,所述風刀口的長度大于所述玻璃基板與所述風刀口對應方向的長度,且小于所述工作管道的長度。

6.如權利要求1所述的一種用于顯示面板的制造設備,其特征在于,所述工作管道靠近所述機臺的一端與所述機臺的垂直距離大于所述玻璃基板的厚度,所述工作管道的內部設置有將所述工作管道分成兩個獨立管道的擋板,所述工作管道包括第一管道和第二管道,所述第一管道靠近所述機臺的一側設置有風刀口,所述第二管道靠近所述機臺的一側設置有一組通孔,所述第一管道和所述第二管道切換工作。

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