[發(fā)明專利]一種石墨烯復(fù)合冷板及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811158114.3 | 申請日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN109346448B | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李逵;李霄光;王巍巍 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安微電子技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | H01L23/367 | 分類號： | H01L23/367;H01L23/373;H01L21/48;B32B7/12;B32B9/00;B32B9/04;B32B33/00 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 徐文權(quán) |
| 地址： | 710065 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石墨 復(fù)合 及其 制備 方法 | ||
1.一種石墨烯復(fù)合冷板，其特征在于：包括復(fù)合冷板本體(1)和石墨烯復(fù)合膜(4)；所述的復(fù)合冷板本體(1)的頂部設(shè)置有內(nèi)凹的散熱腔體(2)，散熱腔體(2)對應(yīng)熱源位置處設(shè)置有豎直布置的針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)；所述的石墨烯復(fù)合膜(4)粘貼鋪設(shè)在散熱腔體(2)內(nèi)，且穿過針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)與針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)的縱向圓柱面導(dǎo)熱結(jié)合；
所述的針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)包括若干個呈陣列排列的縱向?qū)釄A柱，每個縱向?qū)釄A柱與復(fù)合冷板本體(1)呈一體結(jié)構(gòu)；
所述的石墨烯復(fù)合膜(4)采用石墨烯薄膜(11)與高分子粘結(jié)劑(12)層疊復(fù)合制成；
所述的散熱腔體(2)上設(shè)置有蓋板(5)，蓋板(5)與復(fù)合冷板本體(1)四周固定將石墨烯復(fù)合膜(4)壓合固定在散熱腔體(2)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯復(fù)合冷板，其特征在于：所述復(fù)合冷板本體(1)對應(yīng)熱源位置處的底部呈凸起設(shè)置，通過導(dǎo)熱膜(6)與作為熱源的芯片器件(7)導(dǎo)熱連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯復(fù)合冷板，其特征在于：所述的復(fù)合冷板本體(1)、散熱腔體(2)和針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)均采用鋁合金制成。
4.一種如權(quán)利要求1-3任意一項所述的石墨烯復(fù)合冷板制備方法，其特征在于，包括步驟如下：
a.制作石墨烯復(fù)合膜(4)：將石墨烯薄膜(11)與高分子粘結(jié)劑(12)疊層形成石墨烯復(fù)合膜(4)；
b.石墨烯復(fù)合膜(4)和針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)貼合：通過熱壓機，將石墨烯復(fù)合膜(4)擠壓穿過在散熱腔體(2)對應(yīng)熱源位置處加工的一組針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)，使針狀陣列導(dǎo)熱柱(3)縱向圓柱面與石墨烯復(fù)合膜(4)導(dǎo)熱結(jié)合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種石墨烯復(fù)合冷板制備方法，其特征在于，所述的高分子粘結(jié)劑(12)采用環(huán)氧樹脂。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種石墨烯復(fù)合冷板制備方法，其特征在于，所述的石墨烯薄膜(11)與高分子粘結(jié)劑(12)呈均勻間隔疊層設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的一種石墨烯復(fù)合冷板制備方法，其特征在于，所述的石墨烯薄膜(11)厚度為20-30um。
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