[發明專利]一種激光燒蝕觸發薄膜開關和方波發生器

有效

• 申請號: 201811152041.7
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109378240B
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 孫楚昱;張國偉;王海洋;趙昕;何小平;謝霖燊;李俊娜
• 申請（專利權）人: 西北核技術研究所
• 主分類號: H01H13/704
• 分類號: H01H13/704;H03K3/02;H03K5/01
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 楊引雪

1.一種激光燒蝕觸發薄膜開關，包括薄膜開關底板，以及沿同一軸線依次設置在所述薄膜開關底板上的陰極(16)、絕緣薄膜(18)和陽極(22)；

其特征在于：

所述陰極(16)為中空柱狀結構，一端為開口端，另一端為封閉端；陰極(16)的封閉端上沿陰極(16)的軸向開設有通光孔(17)；陰極(16)的內側壁上設置有內螺紋；

還包括通過激光器套筒支撐件(12)固定支撐于所述薄膜開關底板上的激光器套筒(10)、與激光器套筒(10)其中一端相接的激光器套筒封蓋(9)；

所述激光器套筒(10)另一端的外側壁上，與所述陰極(16)配合處設置有外螺紋，激光器套筒(10)與陰極(16)通過螺紋副連接；

激光器套筒(10)內設置有激光器(11)；所述激光器(11)的出光口位置與陰極(16)上的通光孔(17)相對應；

激光器(11)出光口處設置有調焦透鏡，調焦透鏡用于使得絕緣薄膜(18)上的光斑直徑小于0.5mm；

陽極(22)外依次套裝有陽極同軸絕緣子(21)和陽極接地套筒(20)，三者構成前端尺寸大，后端尺寸小的漸變同軸結構。

2.根據權利要求1所述的激光燒蝕觸發薄膜開關，其特征在于：陰極(16)外套裝有陰極固定裝置(13)，陰極(16)與陰極固定裝置(13)間通過鈹銅簧片(14)保持緊密電連接；陰極固定裝置(13)與陽極接地套筒(20)通過接地連接片(15)聯接。

3.根據權利要求2所述的激光燒蝕觸發薄膜開關，其特征在于：所述激光器(11)采用波長452nm、功率3W的二極管激光器。

4.根據權利要求3所述的激光燒蝕觸發薄膜開關，其特征在于：陰極固定裝置(13)、陽極接地套筒(20)、陰極(16)和陽極(22)均采用黃銅制成。

5.根據權利要求4所述的激光燒蝕觸發薄膜開關，其特征在于：陽極同軸絕緣子(21)采用尼龍制成。

6.根據權利要求5所述的激光燒蝕觸發薄膜開關，其特征在于：絕緣薄膜(18)采用棕色聚酰亞胺薄膜。

7.一種方波發生器，其特征在于：包括權利要求1-6任一所述的激光燒蝕觸發薄膜開關。