[發明專利]一種DMD多區域激光投影系統及曝光方法

有效

• 申請號: 201811151981.4
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109116686B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 張雷
• 申請（專利權）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 王新生

1.一種DMD多區域激光投影系統的曝光方法，其特征在于：該系統包括DMD控制系統、光學系統、掩膜板、分圖系統及運動控制系統，所述DMD控制系統包括CPU控制單元和DMD控制電路，所述光學系統包括激光器和光學鏡片模塊，所述掩膜板包括化學膜和基板，所述運動控制系統由DMD臺面、掩膜板臺面、電機、導軌、運動平臺控制器組成，所述分圖系統、DMD控制系統、光學系統及掩膜板依次連接，所述分圖系統控制運動平臺控制器運動，所述DMD控制系統固定在DMD臺面，所述掩膜板固定在掩膜板臺面，具體包括以下步驟：

(1)DMD多區域激光投影系統中根據掩膜板尺寸設置R個DMD控制系統，R≥1；

(2)分圖系統根據曝光圖像原始圖形大小、掩膜板物理大小及DMD控制系統的物理參數，把原始圖形在X方向分成N個區，在Y方向把每個區分成M組，每個區的第1組數據組合起來，組成第1組分圖數據，之后依次是第2組數據組成第2組分圖數據，一直到第M組分圖數據，分圖系統把分圖數據從第1-M組依次發送到DMD控制系統；

(3)DMD控制系統的CPU控制單元接收到分圖數據后，經過數據轉換把數據發送到DMD控制電路，DMD控制電路控制DMD顯示系統時序，使DMD微鏡陣列同時顯示出多個圖像區域，把DMD微鏡陣列在二維XY平面展示，在Y方向依次顯示圖像1區圖像，圖像2區圖像，一直到圖像N區圖像；

(4)光學系統的激光器投射激光到DMD微鏡陣列的多個圖像區域上面，DMD微鏡陣列反射多個圖像區域的激光圖形到光學系統的鏡片模塊，光學系統的鏡片模塊把多個圖像區域圖像分別映射到掩膜板的不同區域，圖像1-N分別被映射到掩膜板的X方向不同區域；

(5)運動控制系統控制掩膜板與映射到掩膜板上的圖像在產生相對運動，把一個圖像區域從掩膜板的Y方向一側運動到另一側，一次掃描可以完成從圖像1-N及R*N個條帶的曝光。

2.根據權利要求1所述的一種DMD多區域激光投影系統的曝光方法，其特征在于：所述光學系統由激光器和光學鏡片模塊組成，激光器產生特定能量大小的激光投射到DMD像素陣列上去，光學鏡片模塊包含不同方向的鏡片，使DMD像素陣列的光經過反射最終到掩膜板上。

3.根據權利要求1所述的一種DMD多區域激光投影系統的曝光方法，其特征在于：所述掩膜板是由化學膜及基板組成，化學膜均勻地附著在基板表面，當接收到光學系統投射下來的光線時，化學膜感光后自身或與基板表面材料發生化學反應，從而形成曝光后圖像。

4.根據權利要求1所述的一種DMD多區域激光投影系統的曝光方法，其特征在于：所述分圖系統首先接收曝光現場的TIFF/Gerber類型的曝光原始文件，之后把原始文件轉換成系統需要的圖形數據文件，最終按時序發送給DMD控制系統的CPU控制單元，同時控制運動控制系統的運動平臺控制器運動。