[發(fā)明專利]一種掩膜板及其制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811151706.2 | 申請日： | 2018-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109097730B | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 羅程遠(yuǎn) | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 掩膜板 及其 制作方法 | ||
1.一種掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：
將塑形模具嵌入掩膜片的掩膜區(qū)域中；
將所述掩膜片與所述塑形模具進(jìn)行粘合；
通過張網(wǎng)工藝將所述掩膜片固定在框架上；
將所述塑形模具與所述掩膜片分離，以形成所述掩膜板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述塑形模具包括阻隔柱；所述將塑形模具嵌入所述掩膜片的掩膜區(qū)域中包括：將所述阻隔柱嵌入所述掩膜片的掩膜區(qū)域中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述塑形模具還包括支撐部，所述阻隔柱凸出于所述支撐部；
所述將所述掩膜片與所述塑形模具進(jìn)行粘合包括：在所述掩膜片背離所述支撐部的一側(cè)形成膠層，以將所述掩膜片與所述阻隔柱進(jìn)行粘合。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，
在所述掩膜片背離所述支撐部的一側(cè)形成膠層包括：將一側(cè)表面覆有膠層的防粘膜貼覆在所述掩膜片背離所述支撐部的一側(cè)；
或者，在所述掩膜片背離所述支撐部的一側(cè)形成膠層，以將所述掩膜片與所述阻隔柱進(jìn)行粘合之后，所述掩膜板的制作方法還包括：在所述膠層背離所述掩膜片的一側(cè)形成防粘膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述膠層的材質(zhì)為熱分離膠，所述熱分離膠會在預(yù)設(shè)溫度下失效。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)溫度為60℃～100℃。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述將所述塑形模具與所述掩膜片分離包括：將通過張網(wǎng)工藝固定在所述框架上的所述掩膜片加熱至所述預(yù)設(shè)溫度，使得所述熱分離膠失效，以將所述塑形模具與所述掩膜片分離。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述阻隔柱的厚度大于或者等于所述掩膜片的厚度。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩膜板的制作方法，所述阻隔柱的表面由樹脂類材料包覆。
10.一種掩膜板，其特征在于，所述掩膜板利用如權(quán)利要求1-9任一項所述的掩膜板的制作方法制成。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
