[發明專利]柔性基板及其制作方法、陣列基板、顯示面板和顯示裝置

有效

• 申請號: 201811151703.9
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109449290B
• 公開（公告）日: 2023-05-19
• 發明（設計）人: 黃振
• 申請（專利權）人: 廣州國顯科技有限公司
• 主分類號: H10K77/10
• 分類號: H10K77/10;H01L27/12;H10K59/12
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 文小莉;劉芳

1.一種柔性基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在襯底上形成膜層，且所述膜層經過至少兩次圖案化處理，形成圖案層，且所述圖案層包括位于所述襯底上的第一圖案層以及至少部分圖案位于所述第一圖案層上的第二圖案層；

在形成了所述第一圖案層和所述第二圖案層的所述襯底上，沉積阻擋層，所述阻擋層覆蓋所述第一圖案層、所述第二圖案層和所述襯底；

其中，所述膜層和所述阻擋層中其中一個為無機膜層，另一個為有機膜層；

當所述第一圖案層中的圖案在縱向上的截面形狀為T型時，所述在襯底上形成膜層，且所述膜層經過至少兩次圖案化處理形成圖案層，包括：

在所述襯底上形成第一膜層，并對所述第一膜層進行第一次圖案化處理，形成多個間隔設置的柱狀結構；

在形成了所述柱狀結構的所述襯底上填充可移除的第一有機膠層，其中，所述第一有機膠層與所述柱狀結構平齊；

在所述第一有機膠層和所述柱狀結構上沉積第二膜層，并對所述第二膜層進行圖案化處理，形成多個間隔設置的塊狀結構，且所述塊狀結構與所述柱狀結構形成縱向截面呈T型的第一圖案層；

在所述塊狀結構之間填充可移除的第二有機膠層，且所述第二有機膠層與所述塊狀結構平齊；

在所述第二有機膠層和所述塊狀結構上沉積第三膜層，并對所述第三膜層進行圖案化處理，形成多個圖案相互間隔的第二圖案層，且所述第二圖案層中的圖案均位于所述第一圖案層上；

移除所述第一有機膠層和所述第二有機膠層，形成所述圖案層。

2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在襯底上形成膜層之前，還包括：

在所述襯底上形成與所述襯底可剝離的薄膜層；

在所述襯底上形成膜層，包括：

在所述薄膜層上形成所述膜層。