[發(fā)明專利]石墨-陶瓷復(fù)合導(dǎo)熱膜及其制備方法和應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811150906.6
• 申請(qǐng)日: 2018-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN109370541B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳國(guó)明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇墨泰新材料有限公司
• 主分類號(hào): C09K5/14
• 分類號(hào): C09K5/14;H01L23/373
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 賈顏維

1.一種石墨-陶瓷復(fù)合導(dǎo)熱膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）將聚酰亞胺膜進(jìn)行碳化和石墨化處理制備石墨膜；

碳化處理包括如下步驟：第一階段溫度由室溫升至300℃，升溫時(shí)間為40min；第二階段溫度由300℃升至480℃，升溫時(shí)間為45min，且溫度升至480℃后保溫30min；第三階段溫度由480℃升至600℃，升溫時(shí)間為420min；第四階段溫度由600℃升至700℃，升溫時(shí)間為240min；第五階段溫度由700℃升至900℃，升溫時(shí)間為200min；第六階段溫度由900℃升至1300℃，升溫時(shí)間為200min;

石墨化處理包括如下步驟：

將碳化處理后的材料放入石墨化設(shè)備中，抽真空后充入氬氣，保持設(shè)備中氣壓為0.015MPa；采用階段升溫方式升溫，具體包括如下步驟：第一階段溫度由室溫升至1000℃，升溫時(shí)間為80min；第二階段溫度由1000℃升至1500℃，升溫時(shí)間為125min；第三階段溫度由1500升至1580℃，升溫時(shí)間為30min；第四階段溫度由1580℃升至1800℃，升溫時(shí)間為220min；第五階段溫度由1800℃升至2000℃，升溫時(shí)間為100min，且溫度升至2000℃時(shí)抽真空；第六階段溫度由2000℃升至2200℃，升溫時(shí)間為70min；第七階段溫度由2200℃升至2500℃，升溫時(shí)間為100min；第八階段溫度由2500℃升至2700℃，升溫時(shí)間為90min；第九階段溫度保持2700℃，保溫時(shí)間為30min；

（2）將石墨膜進(jìn)行壓延處理，得到高導(dǎo)熱壓延膜；

（3）將高導(dǎo)熱壓延膜表面復(fù)合氮化鋁膜；

將高導(dǎo)熱壓延膜和氮化鋁靶材放入真空磁控濺射設(shè)備的真空倉(cāng)中，在濺射過(guò)程中，高導(dǎo)熱壓延膜運(yùn)轉(zhuǎn)以20r/min的速度旋轉(zhuǎn)，為減少氣體雜質(zhì)對(duì)材料的污染，提高高導(dǎo)熱壓延膜的性能，用真空泵將室體抽到一個(gè)10^-6torr高真空，當(dāng)真空倉(cāng)室本底真空達(dá)到達(dá)2.0×10^-4Pa時(shí)，然后充入99.995%的高純氬為工作氣體，通入流量為20sccm的Ar作為濺射氣體，氣壓0.5Pa，通入流量10sccm的N₂作為反應(yīng)氣體，對(duì)高導(dǎo)熱壓延膜進(jìn)行快速的鍍氮化鋁，得到石墨-氮化鋁復(fù)合導(dǎo)熱膜；

所述石墨-陶瓷復(fù)合導(dǎo)熱膜包括石墨膜，石墨膜表面復(fù)合有氮化鋁膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述制備方法得到的石墨-陶瓷復(fù)合導(dǎo)熱膜在電子設(shè)備中的應(yīng)用。