[發明專利]清潔系統

在審

• 申請號: 201811150461.1
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109127630A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 施杰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B25J11/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明涉及一種清潔系統，清潔系統包括清潔裝置和機器人，機器人包括至少一機械手臂，清潔裝置包括至少一轉接機構以及一清潔機構，轉接機構將清潔機構與機械手臂連接起來，通過控制機械手臂以使清潔裝置的清潔機構對平臺進行清潔，此清潔系統具有能持續且高效地清潔以及清潔方式可多樣化的優點。

技術領域

本發明涉及清潔設備技術領域，尤其涉及一種清潔系統。

背景技術

液晶顯示行業較多工序需使用到平臺結構，即Stage結構，以為玻璃基板提供精準的水平放置條件，例如涂布機(Coater)需在平臺上對玻璃基板進行均一涂布，預烘烤(Pre-bake,HP)設備需在平臺上進行均勻加熱。平臺作為精準的平臺結構，較易受掉落的雜質或其他異物的影響，例如，光阻涂布過程中平臺上雜質形成的高度會影響玻璃基板表面涂布的光阻厚度，常見顯示面板上出現為蝶狀Mura(明暗不均的現象)，故在維護保養中平臺是需要重點清潔的部件。

現行平臺結構需經常維護清潔，保證其潔凈度避免出現產品不良。業內也主要采用人工擦拭清潔的方式，一方面清潔設備結構復雜，人工擦拭直接接觸的同時能起到檢查作用，能保證擦拭效果；另一方面考慮清潔設備成本未開發自動清潔功能。然而，人工擦拭清潔的方式存在以下兩個方面的缺陷：(1)人工擦拭清潔較難避免人為帶入的雜質掉落平臺上，造成二次污染；(2)人力擦拭較為繁瑣，人員需先進行全身清潔后才可進入設備，擦拭范圍較小，擦拭效率低。

因此，有必要提出一種技術方案以解決由于無法對平臺進行自動化清潔而存在的問題。

發明內容

鑒于此，本發明的目的在于提供一種清潔系統，以解決由于無法對平臺進行自動化清潔而存在的問題。

為實現上述目的，技術方案如下:

一種清潔系統，所述清潔系統包括清潔裝置和機械人，所述機械人包括至少一機械手臂，所述清潔裝置包括：

至少一轉接機構，所述轉接機構包括：

一鎖緊套，所述鎖緊套具有與所述機械手臂連接的一開口端，所述機械手臂插入所述鎖緊套的開口端以與所述轉接機構連接，

一連接桿，所述連接桿具有第一端部和第二端部，所述第一端部與所述鎖緊套連接，以及，

一卡槽，所述卡槽與所述連接桿的第二端部連接；

一清潔機構，所述清潔機構與所述卡槽連接。

在上述清潔系統中，所述連接桿上設置有彈性部，所述彈性部位于所述第一端部和所述第二端部之間。

在上述清潔系統中，所述彈性部為彈簧或橡膠部件。

在上述清潔系統中，所述鎖緊套靠近所述開口端的內壁上設置有環繞所述內壁的柔性內襯，所述柔性內襯位于所述鎖緊套和所述機械手臂之間。

在上述清潔系統中，所述鎖緊套具有四個側壁，所述四個側壁圍合而成所述開口端，所述四個側壁靠近所述開口端的一端互相不連接。

在上述清潔系統中，所述互相不連接的四個側壁的一端通過緊固裝置進行緊固。

在上述清潔系統中，所述緊固裝置包括：卡箍，所述卡箍套在所述互相不連接的四個側壁的一端；以及，與所述卡箍配合使用的螺桿和螺母。

在上述清潔系統中，所述清潔機構通過磁鐵吸附的方式與所述卡槽連接。

在上述清潔系統中，所述卡槽的一側設有凹陷區，所述凹陷區的表面上設置有至少兩第一磁鐵塊；所述清潔機構上設置有與所述第一磁鐵塊一一對應地第二磁鐵塊。

在上述清潔系統中，所述清潔裝置包括四個轉接機構以及一清潔機構，所述機械人包括四個機械手臂，所述四個轉接機構分別與四個所述機械手臂一一對應地連接，所述四個轉接機構共同連接所述清潔機構。