[發明專利]一種降低單晶晶棒中的碳含量方法

有效

• 申請號: 201811150359.1
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109097822B
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 高利兵;孟濤;王海慶
• 申請（專利權）人: 包頭美科硅能源有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

1.一種降低單晶晶棒中的碳含量方法，其特征在于，具體包括以下步驟：

步驟一：在爐筒下端安裝液面下方熱場；

步驟二：通過吊料工序將8-150mm線性尺寸不等的料塊共放置在石英坩堝內，其料塊總重量為200-220kg，操作人員帶一次性手套后從專用文件袋中拿出與該石英坩堝 所匹配規格的護料布，該護料布上一面均勻設有多根牽引線，各牽引線通過牽引線導向塊連接在一起，該牽引線導向塊上設置引拉線，并且引線導向塊在護料布中心處，操作人員將護料布均勻鋪開，沒有設置牽引線一面將放置在坩堝 內的料塊完全覆蓋，石英坩堝 降至爐筒內的下限位，同時位于液面下方熱場上端；

步驟三：安裝液面上方熱場，安裝好后開始合爐筒；

步驟四：在爐筒合好后，將爐筒上沿及爐蓋下沿用沾酒精高純紙擦拭干，操作人員一手抓住牽引線導向塊上的引拉線，且牽引線導向塊不能超過液面上方熱場中的空腔，一手向上提拉引拉線，使護料布收縮至小于液面上方熱場中的導流筒下口大小，直接取出，并將護料布放置在裝料小車上，繼續合爐；

步驟五：合爐后，在車間指定位置，將護料布翻轉使提出的石墨粉及其它 雜質抖落，然后使用吹風機將護料布整體吹拂干凈，然后裝入裝料小車上專用文件袋中，連同吸盤一起運送至裝料室。

2.根據權利要求1所述的降低單晶晶棒中的碳含量方法，其特點在于：所述步驟一中在爐筒下端安裝液面下方熱場，其具體安裝步驟為：從下到上依次安裝底氈—壓板氈—石墨電極—下保溫—底加熱器—主加熱器—主保溫筒—托桿—堝托—堝幫—上保溫支撐環。

3.根據權利要求1所述的降低單晶晶棒中的碳含量方法，其特點在于：所述護料布采用滌綸材質，其厚度為1-2mm。

4.根據權利要求1所述的降低單晶晶棒中的碳含量方法，其特點在于：所述步驟三中安裝液面上方熱場，其具體安裝步驟為：從下至上依次安裝熱屏支撐換—導流筒—固氈大蓋—固氈環。