[發明專利]半導體產品良率分析系統及分析方法和計算機存儲介質

有效

• 申請號: 201811146276.5
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN110955863B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G06F17/18
• 分類號: G06F17/18
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種半導體產品良率分析系統，其特征在于，包括：

備注設置裝置，其被配置為預設多種備注方式以及選取一種備注方式，所述預設的多種備注方式包括lot ID、時間、特殊情況以及產品異常通知，所述lot ID為貨批名稱或貨批批號，所述特殊情況包括特殊工作需求實驗、臨時工程變更通知和工程更改通知中的至少一種；

輸入裝置，其被配置為根據所述備注方式，輸入需備注的貨批名單；

備注裝置，其被配置為給所述貨批名單中的所有貨批添加備注；以及，

輸出裝置，其被配置為關聯所有貨批的制程和量測數據系統，并輸出具有所述備注對應的所述貨批的信息，以及，根據所述信息輸出統計分析報告，且所述備注與所述統計分析報告相關聯，進而根據所述統計分析報告，從所述貨批名單中找出最有可能導致良率變化的原因的貨批。

2.如權利要求1所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，所述輸出裝置進一步被配置為輸出包含貨批批號和所述備注在內的所有貨批的信息為一信息表格，選擇所述信息表格中的任一所述貨批對應的備注能鏈接輸出對應的所述統計分析報告。

3.如權利要求2所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，所述信息表格中的信息還包含添加所述備注的用戶、所述備注的更新時間、具有所述備注的所有貨批中最早完成測試的時間或預計時間、具有所述備注的所有貨批中最晚完成測試的時間或預計時間、目前具有所述備注的所有貨批中還在生產線上且還沒有進入測試階段的線上貨批數量、目前具有所述備注的所有貨批中已完成所有制程且等待或已經進入或者已經完成測試階段的測試貨批數量，以及，具有所述備注的所有貨批的總數量中的至少一種。

4.如權利要求3所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，所述統計分析報告中的統計信息包括在當前時刻之后的至少一個設定時間段內預估的所述線上貨批數量與所述總數量的比值、在當前時刻之后的至少一個時間段內預估的所述測試貨批數量與所述總數量的比值、具有所述備注的各個所述貨批的目前進程、以及，具有所述備注并已經完成測試階段的所有貨批的良率變化趨勢中的至少一種。

5.如權利要求1所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，所述輸入裝置進一步被配置為輸入具有所述備注的任一所述貨批的相關資料，所述輸出裝置進一步被配置為輸出具有所述備注的任一所述貨批的所述相關資料，所述相關資料與所述貨批的信息以及所述備注相關。

6.如權利要求1所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，所述輸入裝置進一步被配置為輸入需要查詢的所述備注，所述輸出裝置進一步被配置為根據所述輸入裝置輸入的所述備注輸出具有所述備注的所有貨批的信息；和/或，所述輸入裝置進一步被配置為輸入需要查詢的貨批的名稱或貨批批號，所述輸出裝置進一步被配置為根據所述輸入裝置輸入的所述貨批的名稱或貨批批號，輸出所述貨批的名稱或貨批批號對應的所述貨批的信息表格，所述信息表格中包含所述貨批的所有的備注。

7.如權利要求1所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，所述輸入裝置進一步被配置為選擇需要輸出所述統計分析報告的貨批，所述輸出裝置進一步被配置為根據所述輸入裝置選擇的所述貨批輸出對應的所述統計分析報告。

8.如權利要求1至7中任一項所述的半導體產品良率分析系統，其特征在于，還包括用戶界面裝置，其被配置為向用戶提供操作所述輸入裝置、所述備注設置裝置、所述備注裝置以及所述輸出裝置的界面，以及向用戶展示所述輸入裝置輸入的數據、所述備注設置裝置預設和選取的備注方式、所述備注裝置添加的備注以及所述輸出裝置輸出的結果。