[發明專利]一種精密氣體流量自動控制系統

在審

• 申請號: 201811145784.1
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109189109A
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 官榮濤;彭慧娟;袁聰;彭華平;韋金燕
• 申請（專利權）人: 廣州南控自動化設備有限公司
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;黃華蓮

本發明涉及一種精密氣體流量自動控制系統，包括氣源、控制模塊、舵機、齒輪組和與所述氣源連通的管道，所述管道上自氣源始依次設置有手動控制閥、自動控制閥以及旋進旋渦流量計，所述旋進旋渦流量計的信號端與所述控制模塊連接，所述控制模塊的輸出端通過所述舵機與所述齒輪組連接，所述齒輪組的輸出軸與所述自動控制閥連接。本發明提供的一種精密氣體流量自動控制系統，其結構簡單、成本低廉且控制精度高，以適用于小流量氣體的測量與控制。

技術領域

本發明涉及氣體流量控制領域，具體涉及一種精密氣體流量自動控制系統。

背景技術

氣體流量控制裝置主要是用于控制輸出的氣體流量，目前能夠實現氣體流量的自動控制裝置較多，但大多針對大流量氣體的控制，存在結構組件多、連接關系混亂、結構復雜、加工裝配困難、成本較高的缺點；并且由于主要是針對大流量氣體設計，因此大流量氣體控制裝置的管道口徑較大，如用于控制小流量氣體，則存在控制精度差、容易產生較大誤差的不足，因此普通的氣體流量控制裝置不適用于小流量氣體的測量與控制。

發明內容

本發明提供了一種精密氣體流量自動控制系統，其結構簡單、成本低廉且控制精度高，以適用于小流量氣體的測量與控制。

為實現上述目的，本發明提供了一種精密氣體流量自動控制系統，包括氣源、控制模塊、舵機、齒輪組和與所述氣源連通的管道，所述管道上自氣源始依次設置有手動控制閥、自動控制閥以及旋進旋渦流量計，所述旋進旋渦流量計的信號端與所述控制模塊連接，所述控制模塊的輸出端通過所述舵機與所述齒輪組連接，所述齒輪組的輸出軸與所述自動控制閥連接；所述旋進旋渦流量計包括流量計本體和控制器，所述流量計本體包括殼體、起旋器、設置于殼體內并用于檢測通過殼體的氣體流量的流量探頭和設置于殼體內并用于控制流量計本體開啟和關閉的開關閥，所述殼體包括進氣口和出氣口，所述起旋器設置于所述殼體的進氣口處，所述流量探頭和開關閥分別與所述控制器電連接，所述殼體內設有容置腔室，所述流量探頭設置于所述容置腔室內，所述流量探頭包括兩塊固定極板和一塊設置于兩塊固定極板之間的活動極板，兩塊所述固定極板和所述動極板均平行設置。

作為優選方案，所述控制模塊包括單片機、按鍵操作模塊、蓄電池和液晶顯示屏，所述旋進旋渦流量計的信號端、按鍵操作模塊和蓄電池分別與所述單片機的輸入端連接，所述單片機的輸出端分別連接所述液晶顯示屏和所述舵機。

作為優選方案，所述蓄電池與所述單片機之間設置有穩壓電路。

作為優選方案，所述齒輪組包括相互嚙合的齒輪一和齒輪二，所述齒輪一的轉軸與舵機軸連接，齒輪二的轉軸與自動控制閥連接。

作為優選方案，所述流量探頭還包括由一塊橫版和兩塊豎板組成的截面呈“U”形的底座，兩塊所述固定極板固定設置于所述底座的兩個內側面上，所述活動極板設置于兩塊所述固定極板的中間位置，所述動極板通過懸絲與所述殼體連接并可靠近或遠離任意一塊所述固定極板運動。

作為優選方案，所述起旋器與所述殼體的內壁可轉動連接，所述起旋器包括導芯和多個沿所述導芯的側壁的周向均布的螺旋葉片。

作為優選方案，所述流量探頭設置于所述起旋器與開關閥之間，所述出氣口處設有后整流器，所述后整流器與所述控制器電連接。

作為優選方案，所述開關閥為球形控制閥，所述球形控制閥與所述殼體的內壁可轉動連接，所述控制器還包括顯示屏和用于手動控制所述開關閥開啟和關閉的緊急按鈕。

作為優選方案，所述旋進旋渦流量計還包括設置于所述殼體內并用于檢測殼體內氣體的壓力的壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述控制器電連接。

作為優選方案，所述旋進旋渦流量計還包括設置于所述殼體內并用于檢測殼體內氣體的溫度的溫度傳感器，所述溫度傳感器與所述控制器電連接。