[發明專利]一種用于探針退火處理的精準控溫裝置及方法

在審

• 申請號: 201811144967.1
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN108949509A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 王銳;杜江濤;萬忠民;周飚;譚國甫;陳曦;黃泰明
• 申請（專利權）人: 深圳市藝盛科五金電子有限公司
• 主分類號: C12M1/00
• 分類號: C12M1/00;C12M1/38;C12M1/34
• 代理公司: 成都天匯致遠知識產權代理事務所(普通合伙) 51264
• 代理人: 韓曉銀

1.一種用于探針退火處理的精準控溫裝置，其特征在于，包括加熱腔、陣列式加熱管組、控制系統和升降系統，所述陣列式加熱管組和所述升降系統設置在所述加熱腔內，并且所述陣列式加熱管組位于所述升降系統正上方；所述陣列式加熱管組由若干根長加熱管和若干根短加熱管組成；所述控制系統包括彼此相連的PLC控制器和可控硅，所述可控硅分別與所述陣列式加熱管組的長加熱管和短加熱管連接；所述加熱腔側壁上還設有探針放入口。

2.根據權利要求1所述的一種用于探針退火處理的精準控溫裝置，其特征在于，所述陣列式加熱管組由4根長加熱管和8根短加熱管組成，其中所述4根長加熱管呈口字形非封閉式布置，所述8根短加熱管兩兩呈L形布置在所述口字形的4個角旁。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于探針退火處理的精準控溫裝置，其特征在于，所述陣列式加熱管組的四周設有反射罩。

4.根據權利要求1所述的一種用于探針退火處理的精準控溫裝置，其特征在于，所述加熱腔內還設有多個溫度探測器，所述溫度探測器與所述PLC控制器連接。

5.一種用于探針退火處理的精準控溫方法，是采用權利要求1所述裝置，其特征在于，包括以下步驟：利用有限元模擬軟件確定陣列式加熱管組中長加熱管和短加熱管的數量以及陣列排布方式；將探針放置在升降系統上，并調節探針高度；通過PLC控制器和可控硅控制長加熱管加熱溫度；同時根據加熱腔內的溫度場分布情況，通過PLC控制器和可控硅控制短加熱管加熱溫度，進而實現整個裝置內溫度場的均勻升溫或降溫。