[發(fā)明專利]光學感應(yīng)器及其形成方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811136193.8 | 申請日： | 2018-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN110970448B | 公開（公告）日： | 2022-03-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李新輝;曾漢良;余俊良;林光明;陳茵;陳子端;林學榮;呂文志;呂定蓉 | 申請（專利權(quán)）人： | 世界先進積體電路股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/146 | 分類號： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天堯;任默聞 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光學 感應(yīng)器 及其 形成 方法 | ||
本發(fā)明實施例提供一種光學感應(yīng)器及其形成方法，包括：位于基板中的多個像素以及位于基板之上的光準直層。上述光準直層包括：遮光層、透光柱、及第一虛置透光柱。遮光層位于基板之上。透光柱穿過遮光層，對應(yīng)設(shè)置于像素上。第一虛置透光柱穿過遮光層，位于光準直層的第一周邊區(qū)域。第一虛置透光柱于俯視圖中包圍透光柱。本發(fā)明可視工藝及設(shè)計需求強化透光柱陣列結(jié)構(gòu)，避免陣列邊緣透光柱變形倒塌，保持透光柱的均勻度，進而提升成品率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種光學元件，尤其涉及一種光學感應(yīng)器。
背景技術(shù)
光學感應(yīng)器中的光學元件可包括光準直器(light collimator)、分束器、聚焦鏡以及線性感測器。其中，光準直器的功能在于準直光線，以減少因光發(fā)散所導致的能量損失。舉例而言，光準直器可被應(yīng)用于光學感應(yīng)器中，以增加指紋辨識裝置的效能。
光準直器包括透光柱及包圍透光柱的遮光層，以達到準直光線的效果。然而，在制作光準直器過程中，位于透光柱陣列邊緣的透光柱容易因自身內(nèi)聚力或遮光層的應(yīng)力倒塌變形，影響光準直器的準直效果，進一步影響光學感應(yīng)器的成品率。
雖然現(xiàn)有的光學感應(yīng)器大致符合需求，但并非各方面皆令人滿意，特別是提升光學感應(yīng)器的光準直器的結(jié)構(gòu)強度仍需進一步改善。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例提供一種光學感應(yīng)器，用以提升光學感應(yīng)器的光準直器的結(jié)構(gòu)強度。
根據(jù)一實施例，本發(fā)明提供一種光學感應(yīng)器，包括：像素，位于基板中；光準直(collimating)層，位于基板之上，包括：遮光層，位于基板上方；透光柱，穿過遮光層，對應(yīng)設(shè)置于像素上；第一虛置透光柱，穿過遮光層，位于光準直層的第一周邊區(qū)域；其中于俯視圖中第一虛置透光柱包圍透光柱。
根據(jù)另一實施例，本發(fā)明提供一種光學感應(yīng)器的形成方法，包括：形成像素于基板中；形成光準直層于基板之上，其中光準直層的形成包括：形成透光柱及第一虛置透光柱于基板之上，其中透光柱對應(yīng)設(shè)置于像素上，且第一虛置透光柱位于光準直層的第一周邊區(qū)域；形成遮光層于透光柱與第一虛置透光柱之間；其中于俯視圖中第一虛置透光柱包圍透光柱。
綜上所述，本發(fā)明實施例提供一種光學感應(yīng)器，在光準直層的遮光層中，除形成像素上方對應(yīng)的透光柱陣列外，另形成虛置透光柱包圍透光柱陣列，可視工藝及設(shè)計需求強化透光柱陣列結(jié)構(gòu)，避免陣列邊緣透光柱變形倒塌，保持透光柱的均勻度，進而提升成品率。
為讓本發(fā)明的上述目的、特征及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉數(shù)個實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。
附圖說明
以下將配合所附圖式詳述本發(fā)明實施例。應(yīng)注意的是，依據(jù)在業(yè)界的標準做法，各種特征并未按照比例繪制且僅用以說明例示。事實上，可能任意地放大或縮小元件的尺寸，以清楚地表現(xiàn)出本發(fā)明實施例的特征。
圖1A、2A、3A是根據(jù)一些實施例繪示出形成光學感應(yīng)器不同階段的剖面示意圖。
圖1B、2B、3B是根據(jù)一些實施例繪示出形成光學感應(yīng)器不同階段的俯視圖。
圖4是根據(jù)另一些實施例繪示出光學感應(yīng)器的俯視圖。
圖5是根據(jù)又一些實施例繪示出光學感應(yīng)器的俯視圖。
圖6是根據(jù)再一些實施例繪示出光學感應(yīng)器的俯視圖。
圖7是根據(jù)其他一些實施例繪示出光學感應(yīng)器的俯視圖。
附圖符號：
100、200、300、400、500～光學感應(yīng)器；
102～基板；
104C～中央?yún)^(qū)域；
104P～第一周邊區(qū)域；
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的；包括有熱磁組件的
