[發明專利]物理量測量裝置、電子設備和移動體

有效

• 申請號: 201811132610.1
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN109579810B
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發明（設計）人: 高田豐
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5607
• 分類號: G01C19/5607;G01C19/5628
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;鄧毅

1.一種物理量測量裝置，其特征在于，包含：

傳感器元件，其具有第1驅動電極、第2驅動電極和第1檢測電極、第2檢測電極，在所述第1驅動電極與所述第1檢測電極之間以及所述第1驅動電極與所述第2檢測電極之間形成耦合電容；以及

電路裝置，其具有驅動電路、檢測電路和故障診斷電路，所述驅動電路向所述第1驅動電極供給驅動信號，被輸入來自所述第2驅動電極的反饋信號，所述檢測電路根據來自所述第1檢測電極的第1檢測信號和來自所述第2檢測電極的第2檢測信號，檢測與物理量對應的物理量信息，

所述故障診斷電路具有提取基于所述耦合電容的靜電泄漏成分的靜電泄漏成分提取電路，所述故障診斷電路根據提取出的所述靜電泄漏成分來進行故障診斷，

所述驅動電路輸出作為矩形波的所述驅動信號，

所述靜電泄漏成分提取電路具有：

第1微分電路，其被輸入所述第1檢測信號或作為所述第1檢測信號的放大信號的第1放大信號；以及

第2微分電路，其被輸入所述第2檢測信號或作為所述第2檢測信號的放大信號的第2放大信號，

通過所述第1微分電路和所述第2微分電路，提取由于作為矩形波的所述驅動信號的上升沿或者下降沿而引起的所述第1檢測信號、所述第2檢測信號或者所述第1放大信號、所述第2放大信號的變化，作為所述靜電泄漏成分，

所述傳感器元件包含基部、驅動臂和檢測臂，

在所述基部沿著第1方向配置有被輸入所述驅動信號的第1驅動用端子和輸出所述反饋信號的第2驅動用端子，

在所述基部沿著與所述第1方向垂直的第2方向配置有輸出所述第1檢測信號的第1檢測用端子和輸出所述第2檢測信號的第2檢測用端子。

2.根據權利要求1所述的物理量測量裝置，其特征在于，

所述第2驅動用端子以包圍所述第1驅動用端子的方式延伸設置于所述第1驅動用端子與所述第1檢測用端子、所述第2檢測用端子之間。

3.根據權利要求1或2所述的物理量測量裝置，其特征在于，

所述故障診斷電路包含：

波高值轉換電路，其對作為所述第1微分電路和所述第2微分電路的輸出信號的、脈沖信號的波高值進行轉換，輸出轉換電壓；以及

判定電路，其進行來自所述波高值轉換電路的所述轉換電壓與閾值電壓的比較判定，從而進行所述故障診斷的判定。

4.根據權利要求1或2所述的物理量測量裝置，其特征在于，

所述故障診斷電路包含：

計數器電路，其進行作為所述第1微分電路和所述第2微分電路的輸出信號的、脈沖信號的計數處理；以及

判定電路，其根據所述計數器電路的計數值，進行所述故障診斷的判定。

5.根據權利要求1或2所述的物理量測量裝置，其特征在于，

在所述檢測電路檢測所述物理量信息的檢測期間，所述故障診斷電路進行所述故障診斷。

6.根據權利要求1或2所述的物理量測量裝置，其特征在于，

以覆蓋所述基部的所述第1驅動用端子、所述第2驅動用端子和所述第1檢測用端子、所述第2檢測用端子的方式設置有電介質。

7.根據權利要求1或2所述的物理量測量裝置，其特征在于，

所述檢測電路包含：

第1電荷/電壓轉換電路，其對所述第1檢測信號進行放大，輸出所述第1放大信號；以及

第2電荷/電壓轉換電路，其對所述第2檢測信號進行放大，輸出所述第2放大信號，

所述靜電泄漏成分提取電路提取來自所述第1電荷/電壓轉換電路、所述第2電荷/電壓轉換電路的所述第1放大信號、所述第2放大信號的所述靜電泄漏成分。

8.根據權利要求7所述的物理量測量裝置，其特征在于，

所述檢測電路包含：

差動放大器，其進行輸入到所述故障診斷電路的所述第1放大信號、所述第2放大信號的差動放大；以及

同步檢波電路，其根據由所述差動放大器進行差動放大后的信號，進行同步檢波。