[發明專利]基于硒化鎢薄膜溝道結構的光纖法珀超敏氣體傳感器

有效

• 申請號: 201811131211.3
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN109164050B
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 曹忠旭;袁中野;姚佰承;吳宇;饒云江
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31;G01N21/45
• 代理公司: 電子科技大學專利中心 51203
• 代理人: 閆樹平

1.基于硒化鎢薄膜溝道結構的光纖法珀超敏氣體傳感器，包括鍍膜單模光纖、硒化鎢-單模光纖和石英毛細管，其特征在于：

所述鍍膜單模光纖有兩根，為一端鍍介質薄膜，在1550納米波段大于95％反射率的單模光纖；

所述硒化鎢-單模光纖，為一端鍍有金膜的單模光纖，以≥10微米的溝道寬度貫通去除單模光纖纖芯部分的金膜，使得金膜分為兩段，然后插入到硒化鎢薄膜上，最終使硒化鎢薄膜貼附到單模光纖端面后，與兩段金膜形成硒化鎢-金電導結構；

以硒化鎢-單模光纖居中，鍍膜單模光纖位于兩端，鍍膜端面向中的方式，插入石英毛細管中，石英毛細管既作為法珀腔準直、封裝結構，又作為氣體微流通道；其中硒化鎢-單模光纖的鍍膜端與對應的介質薄膜-單模光纖鍍膜端不接觸，構成一個1～3毫米的空氣隙，該空氣隙部分的石英毛細管設有空氣孔，空氣隙結構作為氣體分子的微流通道，兩鍍膜單模光纖構成法珀微腔；硒化鎢-單模光纖和兩根介質薄膜-單模光纖間的光路準直。

2.如權利要求1所述基于硒化鎢薄膜溝道結構的光纖法珀超敏氣體傳感器，其特征在于：所述空氣孔為兩個，相對稱的設置于空氣隙部分的石英毛細管上。

3.如權利要求1所述基于硒化鎢薄膜溝道結構的光纖法珀超敏氣體傳感器，其特征在于：所述介質薄膜為二氧化硅、二氧化鋯薄膜依次疊加沉積而成。