[發(fā)明專利]一種用于水膜刻蝕工藝的粘液滾輪

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811128140.1
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN109037123B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周守亮;張玉前;陳紹光;蘇世杰;蔣衛(wèi)朋
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 李文淵

本發(fā)明公開了一種用于水膜刻蝕工藝的粘液滾輪，包括圓柱體，所述圓柱體中部垂直固定有若干片中部帶液滾輪，所述圓柱體兩端垂直固定有若干片端部帶液輪盤，所述中部帶液滾輪和端部帶液輪盤的半徑相同，所述中部帶液滾輪和端部帶液輪盤之間形成兩個缺口，所述缺口中設(shè)置有多片間隙輪盤，所述間隙輪盤固定在圓柱體上，且多片間隙輪盤的半徑依次增大或減小，且最大半徑的間隙輪盤小于端部帶液輪盤的半徑。本發(fā)明通過多片帶液輪盤的設(shè)置，不會出現(xiàn)由于螺紋旋向?qū)е碌囊好婧碗姵仄谶\動過程中，導致電池片在刻蝕槽上的運動速度降低的情況，還會接觸到電池片邊緣，避免了水膜破水的情況，實用性很強，非常值得推廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片刻蝕裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于水膜刻蝕工藝的粘液滾輪。

背景技術(shù)

硅片刻蝕工藝為了實現(xiàn)更好的刻蝕效果，一般都會在刻蝕裝置上安裝水膜設(shè)備，但是由于水膜在刻蝕過程中，水膜容易發(fā)生破水現(xiàn)象，從而造成刻蝕線不良，影響硅片質(zhì)量。

對刻蝕工具進行觀察，發(fā)現(xiàn)水膜破水現(xiàn)象的發(fā)生主要是由于刻蝕槽內(nèi)粘液滾輪的原因，如說明書附圖1所示，原裝粘液滾輪設(shè)計為一整根帶有細小鋒利螺紋形狀的柱體，安裝在刻蝕槽的最前端，設(shè)計成螺紋狀的目的是為了硅片背面更好的粘液，防止背面因氣泡或粘液不好造成刻不透，但是現(xiàn)有技術(shù)中粘液滾輪存在一個較為明顯的缺陷：當硅片經(jīng)過此粘液滾輪時，滾輪轉(zhuǎn)動，螺紋帶液偶爾會碰到硅片邊緣，造成水膜破水，溶液爬到硅片表面造成過刻，從而影響硅片刻蝕質(zhì)量，導致不良片的產(chǎn)生，大大降低了經(jīng)濟效益。

為了解決上述問題，現(xiàn)有技術(shù)中，申請?zhí)枮椤?01721009203?.2”的一種水膜刻蝕工藝用粘液滾輪，如說明書附圖2和附圖3所示，包括圓柱體和螺紋套，所述圓柱體上套設(shè)有若干個螺紋套，且每兩個螺紋套之間形成一個缺口，所述螺紋套與圓柱體活動連接，且每個缺口處的圓柱體上套設(shè)有圓柱套，所述圓柱體上開設(shè)有移動槽，所述螺紋套內(nèi)壁上對應移動槽固定有移動塊，所述圓柱套外徑小于螺紋套外徑。由于螺紋套是套設(shè)在圓柱體上的，所以螺紋套的直徑較大，缺口處無螺紋的圓柱體直徑較小，當硅片經(jīng)過此滾輪處時，硅片邊緣與缺口處無螺紋的圓柱體形成一個高度，這樣硅片的邊緣就不會與滾輪接觸造成破水現(xiàn)象，大大降低了不良片的產(chǎn)生，減少了造片成本，值得推廣。

但是上述該水膜刻蝕工藝用粘液滾輪在使用過程中，仍然存在以下較為明顯的缺陷：1、采用螺紋的形式帶動液面和電池片運動，由于螺紋有旋向，會導致液面和電池片在運動過程中發(fā)生朝著旋向方向的偏移，從而造成電池片的刻蝕效果變差；2、缺口的設(shè)置，導致同等長度的滾輪的帶液效果變差，也就使得電池片在刻蝕槽上的運動速度降低，從而降低了同等時間內(nèi)刻蝕電池片的數(shù)量，影響了生產(chǎn)效率；3、而且電池片下方的螺紋套，在使用過程中，可能會因為電池片運動時的偏移，仍然會帶液碰到電池片邊緣，造成水膜破水。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于水膜刻蝕工藝的粘液滾輪，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種用于水膜刻蝕工藝的粘液滾輪，包括圓柱體，所述圓柱體中部垂直固定有若干片中部帶液滾輪，所述圓柱體兩端垂直固定有若干片端部帶液輪盤，所述中部帶液滾輪和端部帶液輪盤的半徑相同，所述中部帶液滾輪和端部帶液輪盤之間形成兩個缺口，所述缺口中設(shè)置有多片間隙輪盤，所述間隙輪盤固定在圓柱體上，且多片間隙輪盤的半徑依次增大或減小，且最大半徑的間隙輪盤小于端部帶液輪盤的半徑。

優(yōu)選的，所述間隙輪盤邊緣處開設(shè)有凹槽，所述凹槽中固定有固定軸，所述固定軸上轉(zhuǎn)動連接有撥液塊。

優(yōu)選的，所述間隙輪盤靠近端部帶液輪盤處的半徑依次減小。

優(yōu)選的，所述中部帶液滾輪包括內(nèi)圓板和斜弧板，所述斜弧板設(shè)置于內(nèi)圓板外圍，且斜弧板呈傾斜設(shè)置。

優(yōu)選的，左邊的中部帶液滾輪上的斜弧板朝向右側(cè)傾斜，右邊的中部帶液滾輪上的斜弧板朝向左側(cè)傾斜。