[發明專利]光偏轉機以及光偏轉機控制裝置在審
| 申請號： | 201811127968.5 | 申請日： | 2018-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN110412762A | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 松家大介;土居昭;德山干夫 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立制作所 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射鏡 抓持部 反射 控制裝置 旋轉軸 抓持 連結 驅動 光束偏轉 扭轉振動 反射面 圖像 | ||
1.一種光偏轉機，使光束偏轉，其特征在于，具備：
反射所述光束的反射鏡；
抓持該反射鏡的一端的第一抓持部；
使與該第一抓持部連結的第一旋轉軸旋轉的第一驅動部；
抓持該反射鏡的另一端的第二抓持部；和
使與該第二抓持部連結的第二旋轉軸旋轉的第二驅動部。
2.根據權利要求1所述的光偏轉機，其特征在于，
所述第一驅動部具備設于所述第一旋轉軸的外周的第一永磁鐵和設于該第一永磁鐵的外周的第一線圈，
所述第二驅動部具備設于所述第二旋轉軸的外周的第二永磁鐵和設于該第二永磁鐵的外周的第二線圈，
在將從所述反射鏡的中心靠所述第一驅動部側的慣量設為J1、將從所述反射鏡的中心靠所述第二驅動部側的慣量設為J2、將所述第一驅動部的旋轉力設為F1、將所述第二驅動部的旋轉力設為F2時，下述式大致成立：
J1∶J2＝F1∶F2。
3.根據權利要求1所述的光偏轉機，其特征在于，
所述第一驅動部具備設于所述第一旋轉軸的外周的第一永磁鐵和設于該第一永磁鐵的外周的第一線圈，
所述第二驅動部具備設于所述第二旋轉軸的外周的第二永磁鐵和設于該第二永磁鐵的外周的第二線圈，
在將從所述反射鏡的中心靠所述第一驅動部側的慣量設為J1、將從所述反射鏡的中心靠所述第二驅動部側的慣量設為J2、將所述第一驅動部的轉矩常數設為T1、將所述第二驅動部的轉矩常數設為T2時，下述式大致成立：
J1∶J2＝T1∶T2。
4.根據權利要求3所述的光偏轉機，其特征在于，
在將所述第一線圈的匝數設為N1、將所述第二線圈的匝數設為N2時，下述式大致成立：
J1∶J2＝N1∶N2。
5.根據權利要求1所述的光偏轉機，其特征在于，
所述第一驅動部具備設于所述第一旋轉軸的外周的第一永磁鐵和設于該第一永磁鐵的外周的第一線圈，
所述第二驅動部具備設于所述第二旋轉軸的外周的第二永磁鐵和設于該第二永磁鐵的外周的第二線圈，
在將從所述反射鏡的中心靠所述第一驅動部側的慣量設為J1、將從所述反射鏡的中心靠所述第二驅動部側的慣量設為J2、將兩驅動部的轉矩常數設為同等、將所述第一線圈的供給電流設為I1、將所述第二線圈的供給電流設為I2時，下述式大致成立：
J1∶J2＝I1∶I2。
6.一種光偏轉機，其特征在于，具備：
旋轉軸；
反射鏡；
旋轉角度檢測器；
將所述反射鏡安裝在所述旋轉軸的抓持部；和
支承所述旋轉軸的軸承部，
在所述旋轉軸上具有多個驅動部。
7.根據權利要求6所述的光偏轉機，其特征在于，
在各驅動部產生的旋轉力不同。
8.根據權利要求7所述的光偏轉機，其特征在于，
各驅動部的轉矩常數不同。
9.一種光偏轉機控制裝置，控制權利要求1～8中任一項所述的光偏轉機，
該光偏轉機控制裝置的特征在于，
具有獨立調整供給到各驅動部的驅動電流的大小的電流量調整部。
10.根據權利要求9所述的光偏轉機控制裝置，其特征在于，
所述光偏轉機控制裝置具有：
自動設定所述電流量調整部中的電流量的放大量的增益決定部。
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