[發(fā)明專利]氣體推斷裝置及真空排氣裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811119205.6
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN109630446B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小崎純一郎;中村雅哉
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D27/00
• 分類號: F04D27/00
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 康艷青;姚開麗

本發(fā)明提供一種氣體推斷裝置，其能夠根據(jù)排氣的氣體種類來控制自動壓力調(diào)整閥。氣體推斷裝置包括：存儲部(42)，存儲第1相關(guān)數(shù)據(jù)及第2相關(guān)數(shù)據(jù)(GDU3)，所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)包含與所述自動壓力調(diào)整閥的開度控制增益值相關(guān)的相關(guān)數(shù)據(jù)(GDU1)及與真空排氣裝置的實效排氣速度相關(guān)的相關(guān)數(shù)據(jù)(GDU2)，所述第2相關(guān)數(shù)據(jù)(GDU3)表示真空泵中的流量、氣體種類及馬達(dá)電流值之間的相關(guān)關(guān)系；以及第1推斷部(411)，基于真空泵的馬達(dá)電流值(Ir)、自動壓力調(diào)整閥的閥開度(θr)、利用真空排氣裝置來真空排氣的真空腔室的壓力測量值(Pr)、第1相關(guān)數(shù)據(jù)及第2相關(guān)數(shù)據(jù)，來推斷利用真空排氣裝置來真空排氣的氣體的流量(Qest2)及氣體種類(Mest2)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種氣體推斷裝置及真空排氣裝置。

背景技術(shù)

在蝕刻裝置等真空裝置中，一邊使工藝氣體流入至工藝腔室，一邊將腔室內(nèi)壓力維持為規(guī)定的壓力來進(jìn)行工藝。因此，在工藝腔室與真空泵之間設(shè)置有自動壓力調(diào)整閥(也稱為APC(automatic pressure control)閥)，并利用此自動壓力調(diào)整閥將工藝腔室的壓力控制為所期望的壓力(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

在利用包括真空泵及自動壓力調(diào)整閥的真空排氣裝置對工藝腔室進(jìn)行排氣的情況下，預(yù)先將真空排氣裝置的排氣特性數(shù)據(jù)存儲于自動壓力調(diào)整閥的控制器中，并基于此排氣特性數(shù)據(jù)進(jìn)行自動壓力調(diào)整閥的調(diào)壓動作。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2014-093497號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

然而，預(yù)先存儲的排氣特性數(shù)據(jù)一般是基于與實際使用的工藝氣體不同的標(biāo)準(zhǔn)氣體(例如，氮氣或氬氣)的數(shù)據(jù)。排氣特性數(shù)據(jù)也依存于氣體種類，因此存在若排出的氣體的氣體種類不明確，則不能進(jìn)行精度良好的壓力調(diào)整的問題。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的氣體推斷裝置是推斷利用真空排氣裝置來真空排氣的氣體的流量及氣體種類的氣體推斷裝置，所述真空排氣裝置包括真空泵、以及連接于所述真空泵的吸氣口的自動壓力調(diào)整閥，所述氣體推斷裝置包括：相關(guān)數(shù)據(jù)存儲部，存儲第1相關(guān)數(shù)據(jù)及第2相關(guān)數(shù)據(jù)，所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)包含與所述自動壓力調(diào)整閥的開度控制增益值相關(guān)的相關(guān)數(shù)據(jù)及與所述真空排氣裝置的實效排氣速度相關(guān)的相關(guān)數(shù)據(jù)，所述第2相關(guān)數(shù)據(jù)表示所述真空泵中的流量、氣體種類及馬達(dá)電流值之間的相關(guān)關(guān)系；以及第1推斷部，至少基于所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)及所述第2相關(guān)數(shù)據(jù)，來推斷利用所述真空排氣裝置來真空排氣的氣體的流量及氣體種類，與所述開度控制增益值相關(guān)的相關(guān)數(shù)據(jù)表示所述開度控制增益值、利用所述真空排氣裝置來真空排氣的氣體的氣體種類與流量、及所述自動壓力調(diào)整閥的閥開度之間的相關(guān)關(guān)系，與所述實效排氣速度相關(guān)的相關(guān)數(shù)據(jù)表示所述實效排氣速度、利用所述真空排氣裝置來真空排氣的氣體的氣體種類與流量、及所述自動壓力調(diào)整閥的閥開度之間的相關(guān)關(guān)系，所述氣體推斷裝置基于所述第1推斷部的推斷結(jié)果來輸出用于所述自動壓力調(diào)整閥的控制的控制修正信息。

在更優(yōu)選的實施方式中，所述第1推斷部基于所述真空泵的馬達(dá)電流值、所述自動壓力調(diào)整閥的閥開度、利用所述真空排氣裝置來真空排氣的真空腔室的壓力測量值、所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)及所述第2相關(guān)數(shù)據(jù)，來推斷利用所述真空排氣裝置來真空排氣的氣體的流量及氣體種類，且所述氣體推斷裝置輸出所述第1推斷部的推斷結(jié)果作為所述控制修正信息。

在更優(yōu)選的實施方式中，所述氣體推斷裝置包括：第2推斷部，基于規(guī)定流量的氣體排氣時的多個閥開度各自的壓力測量值、所述多個閥開度、所述真空泵的馬達(dá)電流值、所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)及所述第2相關(guān)數(shù)據(jù)來推斷利用所述真空排氣裝置來真空排氣的氣體的流量及氣體種類；以及校正部，基于由所述第2推斷部推斷的氣體種類來校正所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)，且存儲于所述相關(guān)數(shù)據(jù)存儲部的校正前的所述第1相關(guān)數(shù)據(jù)被經(jīng)所述校正部校正的第1相關(guān)數(shù)據(jù)替換。