[發明專利]一種細化釹鐵硼磁鐵晶粒尺寸的裝置及其方法

在審

• 申請號: 201811117239.1
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN109136528A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 陳浩;康怡凡;楊曉鋼;羅立偉;孫利潔;喻鵬
• 申請（專利權）人: 寧波諾丁漢大學
• 主分類號: C21D10/00
• 分類號: C21D10/00;H01F41/02
• 代理公司: 武漢華強專利代理事務所(普通合伙) 42237
• 代理人: 王珍

1.一種細化釹鐵硼磁鐵晶粒尺寸的裝置，其特征在于，包括用于固定樣品(18)的夾持裝置、為獲得脈沖電子束的電子束裝置和密閉裝置，所述夾持裝置包括滑軌(2)、夾鉗(3)、支撐臺(5)，所述滑軌(2)通過螺絲(1)固定在支撐臺(5)的上端，所述夾鉗(3)與滑軌(2)嵌套在一起，所述滑軌(2)上安裝有用于固定夾鉗(3)的銷(4)，所述電子束裝置包括電子槍(6)、偏轉線圈(7)、氬氣瓶(9)、連通管、氬氣閥(8)，所述氬氣瓶(9)通過管道與電子槍(6)連接，所述氬氣閥(8)安裝在氬氣瓶(9)與電子槍(6)的連通管之間，所述密封裝置包括實驗腔(10)、氣壓計(13)、氮氣閥(16)、旋轉泵(11)、渦輪分子泵(14)、排氣口(12)、氮氣瓶(17)以及閘門閥(15)，所述實驗腔(10)設置于整個裝置的外側且與外界環境密閉，所述旋轉泵(11)與實驗腔(10)連通，所述氮氣瓶(17)與氮氣閥(16)均連接于渦輪分子泵(14)之后，所述渦輪分子泵(14)安裝于氮氣閥(16)與實驗腔(10)之間，所述閘門閥(15)安裝在渦輪分子泵(14)與實驗腔(10)之間連通管上。

2.根據權利要求1所述的一種細化釹鐵硼磁鐵晶粒尺寸的裝置，其特征在于，所述夾持裝置包括滑軌(2)、夾鉗(3)、螺絲(1)、銷(4)、支撐臺(5)均由高溫合金制成。

3.一種用權利要求1所述裝置實現細化釹鐵硼磁鐵晶粒尺寸加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、首先調整夾鉗(3)之間的間距，將樣品(18)固定于夾鉗(3)之間，利用銷(4)固定夾鉗(3)位置防止滑動；將樣品(18)置于支撐臺(5)上的夾鉗(3)中間，通過兩個銷(4)將夾鉗(3)固定于滑軌(2)的某一適合的位置以固定樣品(18)，兩個螺絲(1)將滑軌(2)固定于支撐臺(5)上；

S2、將固定好樣品(18)后排出實驗腔(10)內空氣，啟動旋轉泵(11)，空氣通過旋轉泵(11)后經由排氣口(12)排除，并且通過氣壓計(13)實時監測實驗腔(10)內氣壓是否達到電子槍工作狀態，達到1.33×10^-2～1.33×10^-4Pa后，開啟氬氣閥(8)并將氬氣瓶(7)同時開啟后，打開電子槍(6)進行工作；

S3、樣品(18)處理完畢后，關閉電子槍(6)和氬氣瓶(9)以及其氬氣閥(8),然后打開氮氣瓶(17)以及氮氣閥(16)，打開渦輪分子泵(14)以及閘門閥(15)，將實驗腔(10)內充入氮氣，將艙內氣壓達到正常水平，最后取出樣品(18)。