[發明專利]粉末凈化處理裝置

在審

• 申請號: 201811116934.6
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN110882596A
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 馮五裕
• 申請（專利權）人: 東服企業股份有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

1.一種粉末凈化處理裝置，其特征是包括在一器殼內規劃形成有提供含藏有粉末的廢氣通過的：

一第一水洗腔室，具有一導入含藏粉末的廢氣的入口，且該第一水洗腔室內配置有一第一噴水器，該第一水洗腔室底部并形成一第一集水槽；

一粉末捕捉腔室，內部間隔形成一第一過濾槽及一第二過濾槽，該第一過濾槽及該第二過濾槽之間經由一通道相連通，且該第一過濾槽及該第二過濾槽上方分別配置有一噴水頭，該第一過濾槽及該第二過濾槽內還分別擺放有多個捕集環；及

一第二水洗腔室，具有一排放凈化后廢氣的出口，且該第二水洗腔室內配置有一第二噴水器，該第二水洗腔室形成于該第一水洗腔室的一側，使得該粉末捕捉腔室坐落于該第一水洗腔室與該第二水洗腔室之間，該第二水洗腔室的底部形成一第二集水槽；

其中，該第一過濾槽底部形成有多個連通該第一水洗腔室的第一透氣孔，且該第二過濾槽底部形成有多個連通該第二水洗腔室的第二透氣孔；該入口、該第一水洗腔室、所述多個第一透氣孔、該第一過濾槽、該粉末捕捉腔室、該第二過濾槽、所述多個第二透氣孔、該第二水洗腔室以及該出口依序成為導引廢氣通過的一氣體流道。

2.如權利要求1所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該入口及該出口分別形成于該器殼的頂部。

3.如權利要求1或2所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該第一噴水器的一端通過該入口凸伸至該器殼外，該第二噴水器的一端通過該出口凸伸至該器殼外。

4.如權利要求1所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該第一過濾槽及該第二過濾槽分別形成于該粉末捕捉腔室的底層。

5.如權利要求1所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該通道形成于該粉末捕捉腔室的上層。

6.如權利要求1或2所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該噴水器具有一呈中空柱狀的管體，該管體一端形成一朝上噴水的噴水孔，該管體的周邊并間隔設有多個朝下噴水的噴霧孔，該噴水孔的孔徑大于所述噴霧孔的孔徑。

7.如權利要求6所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該管體并由該噴水孔向外延伸形成一擾流板，該擾流板具有由上朝下斜傾的一斜面，使該噴水孔間隔對應該斜面供水噴濺。

8.如權利要求1所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：所述捕集環呈環圈狀，所述捕集環的環壁上形成有多個通氣孔與由各該通氣孔一側朝所述捕集環的軸心方向延伸的一舌片。

9.如權利要求1或8所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：所述多個捕集環分別并排橫置于該第一過濾槽及該第二過濾槽內。

10.如權利要求9所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：所述多個捕集環為多層式構造。

11.如權利要求1所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：所述噴水頭的雙端分別形成一連接部及由連接部向外螺旋延伸的一螺旋部，所述連接部內形成一出水孔，該出水孔的一端朝向該螺旋部供水噴濺。

12.如權利要求1所述粉末凈化處理裝置，其特征在于：該器殼配置于一半導體廢氣處理設備上，該半導體廢氣處理設備具有一反應腔室及一后段水洗腔室，該第一水洗腔室經由該入口與該反應腔室相連通，該第二水洗腔室經由該出口與該后段水洗腔室相連通。