[發明專利]一種柔性顯示裝置及其制備方法

有效

• 申請號: 201811107363.X
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN109309099B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 王威
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種柔性顯示裝置，其特征在于，所述柔性顯示裝置包括：

柔性襯底；

設置于所述柔性襯底表面的有源層；

設置于所述柔性襯底上且覆蓋所述有源層的柵極絕緣層；

設置于所述柵極絕緣層上的柵極金屬層；

設置于所述柵極絕緣層上且覆蓋所述柵極金屬層的層間絕緣層；

設置于所述層間絕緣層上的第二金屬層；

設置于所述柵極絕緣層且覆蓋所述層間絕緣層和所述第二金屬層的平坦層；

設置于所述平坦層上的發光層和封裝層；

其中，所述層間絕緣層上開設有多條溝道，所述溝道兩端向所述層間絕緣層邊緣延伸以貫穿所述層間絕緣層；位于所述第二金屬層下方的層間絕緣層在豎向上的投影包納所述第二金屬層在豎向上的投影；所述溝道將層間絕緣層分割為多條絕緣隔道，所述第二金屬層包括多條源漏金屬走線，所述絕緣隔道與所述源漏金屬走線一一對應。

2.根據權利要求1所述的柔性顯示裝置，其特征在于，所述溝道深度不小于所述層間絕緣層厚度。

3.根據權利要求1所述的柔性顯示裝置，其特征在于，所述絕緣隔道的縱截面呈正梯形。

4.根據權利要求1所述的柔性顯示裝置，其特征在于，所述柔性襯底包括第一柔性基板，以及依次層疊設置在第一柔性基板上的第一阻隔層、第二柔性基板和第二阻隔層。

5.一種柔性顯示裝置的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

S10、在承載基板上形成柔性襯底；

S20、在所述柔性襯底上形成圖形化的有源層；

S20、在所述柔性襯底上形成覆蓋所述有源層的柵極絕緣層；

S40、在所述柵極絕緣層上形成柵極金屬層；

S50、在所述柵極絕緣層上形成覆蓋所述柵極金屬層的層間絕緣層；

S60、在所述層間絕緣層上形成圖案化的第二金屬層，第二金屬層包括多條源漏金屬走線；

S70、通過蝕刻工藝在所述層間絕緣層上形成溝道；

S80、在第二金屬層上形成覆蓋第二金屬層和層間絕緣層的平坦層；

S90、在所述平坦層上形成發光層和封裝層；

在步驟S70中，通過蝕刻層間絕緣層形成溝道時，利用源漏金屬走線作為第一層掩膜板。

6.根據權利要求5所述的柔性顯示裝置的制備方法，其特征在于，在步驟S50中，形成層間絕緣層時，并形成金屬電極過孔。

7.根據權利要求5所述的柔性顯示裝置的制備方法，其特征在于，所述S60包括：

S61、在所述層間絕緣層上形成第二金屬層；

S62、在所述第二金屬層上涂布光刻膠層，對光刻膠層進行曝光、顯影，以形成圖案化的光刻膠層；

S63、對第二金屬層進行蝕刻，形成圖案化的第二金屬層。

8.根據權利要求7所述的柔性顯示裝置的制備方法，其特征在于，在步驟S63中，第二金屬層蝕刻完成后，保留位于源漏金屬走線上的光刻膠，利用光刻膠作為蝕刻層間絕緣層的第二層掩膜板。